中國加速芯片制造業(yè)布局,中芯國際,華虹集團(tuán)等國產(chǎn)廠商都在大力提升芯片產(chǎn)能。
這對于光刻機(jī)的采購有了更高的需求,國內(nèi)的上海微電子雖然也能生產(chǎn)光刻機(jī),但制程集中在90nm工藝,且上海微電子的市場份額主要由先進(jìn)封裝光刻機(jī)貢獻(xiàn),在前道IC晶圓制造領(lǐng)域還不是國外廠商的對手。
荷蘭ASML公司是國產(chǎn)廠商進(jìn)口光刻機(jī)最主要的來源,ASML運(yùn)營中國市場的幾十年里,累計(jì)向中國交付了1000多臺光刻機(jī)。而且ASML還在提高光刻機(jī)產(chǎn)能,試圖爭取更多的中國客戶訂單。
不過事情并沒有那么順利,受制于外部規(guī)則因素,ASML的出貨范圍不斷調(diào)整。從EUV光刻機(jī)到DUV光刻機(jī),都面臨出貨限制。
當(dāng)然,并不是所有的DUV光刻機(jī)都會被限制,只有先進(jìn)制程較高的設(shè)備不能出貨,ASML依然能滿足國內(nèi)客戶對生產(chǎn)成熟芯片的需求。不能出貨是ASML自己的事情,中國客戶需要想辦法應(yīng)對。
按照以往的慣例,西方限制封鎖的技術(shù)都會被中國自研攻克。比如盾構(gòu)機(jī),空間站以及衛(wèi)星等等,西方嚴(yán)密封鎖技術(shù),不讓中國參與項(xiàng)目的研發(fā),不對中國開放核心技術(shù),中國就會定下自研目標(biāo),不惜花費(fèi)幾十年也要突破技術(shù)封鎖。
如今光刻機(jī)被西方出口管制,中國同樣有了自研目標(biāo)。只要給中國足夠多的時(shí)間,未必不能突破到最后一步。
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