激光制造商情 來源：武漢晨報(bào)2011-01-25
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武漢新芯集成電路制造有限公司擬投資 35 億美元，擴(kuò)產(chǎn)其 12 英寸集成電路生產(chǎn)線，為此，該公司引進(jìn)了最新核心生產(chǎn)設(shè)備價(jià)值昂貴的大型掃描光刻機(jī)。它的來漢，標(biāo)志著武漢...
武漢新芯集成電路制造有限公司擬投資35億美元，擴(kuò)產(chǎn)其12英寸集成電路生產(chǎn)線，為此，該公司引進(jìn)了最新核心生產(chǎn)設(shè)備價(jià)值昂貴的大型掃描光刻機(jī)。它的來漢，標(biāo)志著武漢新芯正式進(jìn)入產(chǎn)能擴(kuò)張階段。設(shè)備重36噸，體積超過160立方米，是非常精密的光學(xué)機(jī)械設(shè)備，在運(yùn)輸過程對震動(dòng)及溫度都有非常嚴(yán)格的要求。包機(jī)抵達(dá)后，享受了超貴賓級待遇和紅地毯式的全程護(hù)送。從機(jī)場到芯片廠公路運(yùn)輸中，車隊(duì)將以50公里/小時(shí)勻速行駛。到廠后，再經(jīng)精細(xì)移位操作送入潔凈廠房。
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