相干公司推出新型準分子激光退火(ELA)系統(tǒng)VYPER,實現(xiàn)用于下一代平板顯示器的低溫多晶硅(LTPS)的量產。LTPS是用于智能手機和平板電腦的輕型節(jié)能液晶顯示器(LCD)和有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器的關鍵部件。
新型千瓦級VYPER準分子激光器與改進的線光束光學系統(tǒng)相結合,提供可升級的平臺,使LTPS顯示器制造商能夠從目前的第四代面板無縫轉向第六代,顯著提高產量。而且,VYPER的先進設計和能力支持直至第八代的設計,從而使制造商也能滿足未來嚴格的成本目標。
“目前大多數(shù)移動顯示器使用相干公司的準分子激光器和線光束光學系統(tǒng)制造。”相干公司副總裁Richard Waldermann說。“隨著準分子激光器輸出功率和線光束長度的提高,我們看到VYPER系統(tǒng)得到廣泛采用,實現(xiàn)了直至第八代大尺寸面板的低成本高效的生產。我們期望基于LTPS技術的相干公司ELA系統(tǒng)繼續(xù)成為快速增長的高分辨率顯示器市場的首選。”
圖 相干公司新型準分子激光退火(ELA)系統(tǒng)VYPER
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