激光打孔:
在組件上開個小孔是件很常見的事。但是, 如果要求在堅硬的材料上, 例如在硬質(zhì)合金上打大量0.1毫米到幾微米直徑的小孔。用普通的機械加工工具恐怕是不容易辦到, 即使能夠做到, 加工成本也會很高。 激光有很好的同調(diào)性, 用光學(xué)系統(tǒng)可以把它聚焦成直徑很微少的光點(小于一微米), 這相當(dāng)于用來鉆孔的 "微型鉆頭"。其次, 激光的亮度很高, 在聚焦的焦點上的激光能量密度(平均每平方米面積上的能量)會很高, 普通一臺激光器輸出的激光, 產(chǎn)生的能量就可以高達(dá)109 焦耳/厘米2, 足以讓材料熔化并氣化, 在材料上留下一個小孔, 就像是鉆頭鉆出來的。但是,激光鉆出的孔是圓錐形的,而不是機械鉆孔的圓柱形,這在有些地方是很不方便的。
激光蝕刻:
激光蝕刻技術(shù)比傳統(tǒng)的化學(xué)蝕刻技術(shù)工藝簡單、可大幅度降低生產(chǎn)成本,可加工0.125~1微米寬的線,非常適合于超大規(guī)模集成電路的制造。
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