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能源環(huán)境新聞

LED晶圓紫外激光高速劃片設(shè)備

星之球科技 來源:德龍激光2012-10-30 我要評(píng)論(0 )   

LED晶圓紫外激光高速劃片設(shè)備 激光晶圓切割設(shè)備是專門針對(duì)LED芯片生產(chǎn)企業(yè)所研發(fā)出的一款高端精密設(shè)備,主要應(yīng)用于以Sapphire基底的GaN晶圓的劃片切割。配備多組同軸光...

    
     LED晶圓紫外激光高速劃片設(shè)備

      激光晶圓切割設(shè)備是專門針對(duì)LED芯片生產(chǎn)企業(yè)所研發(fā)出的一款高端精密設(shè)備,主要應(yīng)用于以Sapphire基底的GaN晶圓的劃片切割。配備多組同軸光源,能很好地配合PSS工藝,側(cè)腐蝕工藝,以及背鍍金屬工藝和垂直結(jié)構(gòu)工藝晶圓片的劃片和切割,該產(chǎn)品具備半自動(dòng)功能。目前國內(nèi)絕大部分芯片廠都有我司設(shè)備,市場(chǎng)占有率在60%以上。

 

技術(shù)優(yōu)勢(shì):

 

1、配備自動(dòng)影像識(shí)別,支持全自動(dòng)切割功能,操作更加簡(jiǎn)單

2、標(biāo)配4英寸平臺(tái),支持軟件終身免費(fèi)升級(jí)

3、三套同軸CCD視覺系統(tǒng),支持正切、背切和大視野觀察晶片;

4、專利的打光技術(shù),使視野更加清晰明了,對(duì)于粗化、圖形化襯底、背鍍金屬層晶圓的切割頗具優(yōu)勢(shì);

5、可切割銅基板、鋁基板、陶瓷、硅片等各種材料,為做大功率LED芯片的公司提供了完美的切割解決方案

6、切割過程中可動(dòng)態(tài)微調(diào)、暫停和重設(shè)激光焦點(diǎn)在切割道中位置,無需重新規(guī)劃路徑,可以有效避免操作錯(cuò)誤,提高產(chǎn)品良率;

一、產(chǎn)品特點(diǎn)

1.特有的V型切口,可助您的芯片輕松取得令人滿意的亮度提升

2.速度快、產(chǎn)能高

3.標(biāo)配4英寸平臺(tái),為升級(jí)留足空間

4.自動(dòng)影像識(shí)別定位系統(tǒng),讓識(shí)別、定位一鍵完成

 

二、技術(shù)規(guī)格

1. 激光光學(xué)系統(tǒng)

1)半導(dǎo)體泵浦紫外激光器

2)激光光束擴(kuò)束系統(tǒng)

3)激光光束轉(zhuǎn)折傳輸系統(tǒng)

4)激光束聚焦加工系統(tǒng)

5)安全保護(hù)光閘

2.運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

1X-Y-Z-θ四軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)

2X-Y平臺(tái)140mm行程,0.1μm分辨率

3Z軸調(diào)焦平臺(tái),1μm分辨率

4θ軸旋轉(zhuǎn)精度0.0001°,±7°

5)高速四軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)

6)透明石英真空吸盤

3.影像視覺系統(tǒng)

1)同軸上影像CCD及鏡頭,大視野、高倍率、底部觀測(cè)

2)同軸環(huán)形LED打光照明系統(tǒng)

3)高速圖像采集和處理系統(tǒng)

4.輔助裝置

1)激光全封閉裝置

2)花崗巖平臺(tái)防震裝置

3)電子式氣壓顯示裝置

4)加工端功率測(cè)量裝置

5)工件表面集塵裝置

6)光路防塵裝置

7)工控機(jī)/LCD顯示屏

8)全中文Windows XP操作系統(tǒng)

 

 

 

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