大功率激光輸出功率低頻波動測量采用的是空心探針探測法,這一方法過去是作為大功率激光光束光斑質(zhì)量檢測而提出的。由一個定速電機帶動空心探針轉(zhuǎn)動,探針一端有一個微孔,探針轉(zhuǎn)動時微孔對光束(光斑)的某一橫截面進行掃描,這樣就可以獲得激光功率(橫截面分布)隨時間變化的信息。
探針是該儀器的關(guān)鍵部件,包括微孔、內(nèi)光腔、反射鏡等部分,微孔的大小由被測激光光束(光斑)的功率密度確定,直徑約為20^50如m。在選擇探針材料時要考慮到抗高功率的激光損傷,另外,為了實時在線測量,探針的直徑應(yīng)盡量小,使測量時的光能量損耗小于1%。入射光束通過微孔,通過探針的兩個傾斜的反射鏡反射到熱釋電探測器上,獲得激光的強度。
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