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電子加工新聞

激光應用于微電子行業(yè)淺析

星之球激光 來源:激光世界2013-02-20 我要評論(0 )   

激光 是20世紀60年代發(fā)展起來的一門新興科學。它是一種具有亮度高、方向性好、單色性好等特點的相干光。 激光應用于材料加工,使制造業(yè)發(fā)生了根本性變化,解決了許多常...

     2012年在全球經濟低迷不振的大環(huán)境下,激光器制造商在“經濟余震”中所經歷的不確定性和擔憂,在經濟大衰退之后的幾年內將依然存在。然而從長遠銷售預期來看,在很多幾乎不受地域或者全球性經濟衰退影響的領域,激光正在作為一種成熟的、對經濟增長發(fā)揮重要作用的技術,呈現出上揚態(tài)勢。盡管預計全球債務危機將會限制2013年的某些資本設備支出,但是激光器有望憑借“能實現制造自動化、提高效率、降低能耗,進而使企業(yè)在經濟風暴中更具競爭力”的優(yōu)勢脫穎而出。

  半導體制造業(yè)發(fā)展迅速,“綠色”技術無疑具有光明的未來,這就要求有新的激光加工工藝與技術來獲得更高的生產品質、成品率和產量。除了激光系統的不斷發(fā)展,新的加工技術和應用、光束傳輸與光學系統的改進、激光光束與材料之間相互作用的新研究,都是保持綠色技術革新繼續(xù)前進所必須的。2013年激光技術在半導體行業(yè)將會取得怎樣的成績呢?

  半導體市場:黯然神傷

  雖然智能電子設備組件的微加工將繼續(xù)為光纖激光器制造商帶來利好勢頭,但是主要依賴于半導體資本設備采購的激光器制造商,將在2013年遭遇坎坷。

  “隨著半導體行業(yè)從45nm轉向20nm甚至更高的節(jié)點,需要更多的制造步驟處理更多的層和新材料,這導致資本強度增加。”半導體設備暨材料協會(SEMI)行業(yè)研究與統計高級總監(jiān)Dan Tracy表示,“2010年和2011年,半導體行業(yè)在產能擴充方面實現了堅挺恢復,同時也轉向了更加先進的工藝技術。而2012年產能擴張的減少,為半導體行業(yè)帶來了更多不確定性,一些分析師預計2013年半導體行業(yè)的資本支出將出現負增長。”Tracy還補充道,半導體資本設備市場存在著周期性,最近報道的設備數據反映了2012年下半年更加低迷的行業(yè)狀況。2012年10月的訂單出貨比為0.75,訂單量約比2011年10月下跌20%。

       “對于微電子行業(yè)來講,2012年將是一分為二的年頭,”相干微電子部門營銷總監(jiān)David Clark表示,“預計2013年傳統消費電子產品,如筆記本電腦、PC、數碼相機、硬盤驅動器和電視機將非常不景氣,但是平板電腦和智能手機以及相關組件將會以驚人的速度增長。這無疑是個好消息,因為這些移動設備組件很多都是使用相干的激光器制造的,相干的這部分業(yè)務將會繼續(xù)強勁增長。”Clark補充說,“如果基于Windows 8的超級本和平板電腦在企業(yè)市場獲得真正成功,相信這必將刺激2013年IC銷售額的限制增長。”

  IC Insihts公司也看到了類似趨勢,其預計2013年電子設備的銷售額將增長5%,2012年的增長率為3%。Clark對更長遠的趨勢也持樂觀態(tài)度,他表示,“4G-LTE無線網絡建設、互聯網流量的持續(xù)增長、云計算的采用一級即將向450nm晶圓的遷移,所有這些都將促使未來幾年內半導體資本支出方面出現重大投資。”

  相干2012年第四財季(截至2012年9月29日)的銷售額,從上年同期的2.08億美元下降到1.89億美元;與上個季度相比,訂單量下降近23%。相比之下,Newport則由于研發(fā)市場和工業(yè)市場的強勁表現而實現了創(chuàng)紀錄的銷售額;當然半導體資本支出的疲軟也使其受到了一定影響,其第四財季(截至2012年9月29日)微電子業(yè)務銷售額比上年同期下降了9.7%,降至1.1億美元。

  作為一家主要為半導體行業(yè)提供光刻光源的供應商,Cymer公司2012年第三季度(截至2012年9月30號)的總營收約為1.32億美元,基本與上年同期持平,但低于2012年第二季度1.49億美元的總營收。2012年10月,Cymer公司被荷蘭ASML公司以大約26億美元的價格收購;2012年第三季度,Cymer出貨了27套紫外系統,并向ASML交付了其首款極紫外光源,曝光功率為30W。

  Cymer公司和日本Gigaphoton公司是業(yè)界領先的極紫外光源制造商,依據摩爾定律,他們會繼續(xù)享受業(yè)務增長。但是研究超短、超高功率激光脈沖(如用于光與物質相互作用研究的極強光設施)的激光器制造商,正在尋求超越摩爾定律。

  “早在2007年,來自美國能源部基礎能源科學顧問委員會的一份報告就顯示,當集成電路制造達到分子級或納米級的時候,其將遠遠超越摩爾定律的限制。一個基于納米芯片的超級計算機,可以舒適地握在掌中,且耗電極低。”Calmar Laser公司營銷總監(jiān)Tim Edwards說,“這使得激光產業(yè)令人興奮不已——沒有激光發(fā)揮舉足輕重的作用,分子尺度的未來將無法實現。飛秒光纖激光器制造商始終致力于提升脈沖到脈沖之間的穩(wěn)定性,以滿足眼科、光譜、DNA分析、分子成像、薄膜太陽能電池加工以及計量等應用的苛刻要求,所有這些都提供了廣闊的科研激光市場,但是不知為何激光市場并未快速增長。”

 

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