星之球科技 來源：中國激光2013-03-17
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【摘要】 飛秒激光微加工技術(shù)具有加工精度高、熱效應(yīng)小、損傷閾值低以及能夠?qū)崿F(xiàn)真正的三維微結(jié)構(gòu)加工等優(yōu)點(diǎn),這些特性是傳統(tǒng)的激光加工技術(shù)所無法取代的。首先回顧了激...
【摘要】 飛秒激光微加工技術(shù)具有加工精度高、熱效應(yīng)小、損傷閾值低以及能夠?qū)崿F(xiàn)真正的三維微結(jié)構(gòu)加工等優(yōu)點(diǎn),這些特性是傳統(tǒng)的激光加工技術(shù)所無法取代的。首先回顧了激光微加工和超短脈沖激光技術(shù)的發(fā)展歷史,然后介紹超短脈沖激光與金屬和介質(zhì)材料相互作用的機(jī)制,接著闡述了飛秒激光直寫、干涉和投影制備等各種加工方法的原理,重點(diǎn)討論飛秒激光在三維光子器件集成、微流體芯片制備及其在生化傳感方面的應(yīng)用等,最后展望了飛秒激光微加工領(lǐng)域所面臨的機(jī)遇和挑戰(zhàn),指出了未來的研究方向。 更多還原
【關(guān)鍵詞】 超快光學(xué)； 飛秒激光； 光與物質(zhì)相互作用； 微加工； 集成光學(xué)； 雙光子聚合； 微流體； 納米顆粒；
| 飛秒激光發(fā)展 |
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