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【摘要】針對(duì)光頻調(diào)諧器件壓電陶瓷的形變滯后對(duì)測(cè)量精度的影響，提出了一種采用局部二次曲線過(guò)渡的激光器驅(qū)動(dòng)信號(hào)波形的修正方法。利用掃描法布里-帕羅干涉儀測(cè)得的光頻率掃描時(shí)間，建立了激光器掃頻驅(qū)動(dòng)過(guò)程的傳遞函數(shù)模型，采用最小二乘峰值檢測(cè)法來(lái)識(shí)別干涉信號(hào)的波峰，通過(guò)建立的激光器掃頻驅(qū)動(dòng)控制傳遞函數(shù)模型，對(duì)激光器光頻率非線性輸出進(jìn)行了補(bǔ)償。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，激光掃頻驅(qū)動(dòng)信號(hào)波形修正方法可消除干涉信號(hào)轉(zhuǎn)折處的波形畸變，而相位測(cè)量、激光器輸出的補(bǔ)償方法可將測(cè)量系統(tǒng)的重復(fù)精度、定位精度提高約10倍。更多還原

【關(guān)鍵詞】驅(qū)動(dòng)信號(hào)；相位測(cè)量；非線性輸出；

新型可調(diào)諧外腔半導(dǎo)體激光器光頻掃描干涉測(cè)距的方法

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