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日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣布，開(kāi)發(fā)出了用于制造平板顯示器（FPD）的極小激光退火工序用準(zhǔn)分子激光器“GIGANEX”系列。不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的極小激光退火裝置上，供貨給了大尺寸液晶屏制造設(shè)備工廠用于LTPS（低溫多晶硅）TFT液晶面板制造。

　　“GIGANEX”準(zhǔn)分子激光器的機(jī)殼示意圖（照片出自Gigaphoton的新聞發(fā)布資料）

　　這是一款應(yīng)用高可靠性半導(dǎo)體光刻用準(zhǔn)分子激光器的退火用準(zhǔn)分子激光器，是專供V-Technology制造的裝置使用的專用機(jī)。通過(guò)導(dǎo)入已有的a-Si（非晶硅）面板制造工序，使a-Si向p-Si（多晶硅）結(jié)晶化，可制造用以往a-Si無(wú)法制造的8K等高精細(xì)面板。

　　另外還可實(shí)現(xiàn)以往激光退火工藝無(wú)法實(shí)現(xiàn)的大型面板尺寸的制造，可滿足制造50～70英寸TV面板的大尺寸液晶制造設(shè)備工廠的要求。

　　GIGANEX是面向FPD制造、柔性器件工藝及光刻以外的半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的準(zhǔn)分子激光器產(chǎn)品的新品牌。Gigaphoton已在5月22～27日于美國(guó)舉行的“Display Week 2016”上，展出了用GIGANEX制造的試制面板。

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用于大尺寸液晶屏制造設(shè)備的退火工序的準(zhǔn)分子激光器