在100 fs的時(shí)間內(nèi)電子吸收光子的能量而躍遷到高能級(jí);
為了達(dá)到平衡,電子會(huì)在1 ps的時(shí)間內(nèi)將能量傳遞給晶格;
在10 ps的時(shí)間內(nèi),這些能量將被逐步傳遞到材料內(nèi)部。
只有超過多光子吸收閥值的照射區(qū)域,才會(huì)出現(xiàn)明確的加工行為。飛秒激光加工可以實(shí)現(xiàn)小于焦點(diǎn)光斑尺寸的精度加工,原因在于多光子吸收的光強(qiáng)依賴性。
飛秒激光加工的組織中沒有熔融區(qū),沒有重鑄層,不產(chǎn)生微裂紋。這是飛秒加工的最重要特征。它避免了熱熔化的存在,實(shí)現(xiàn)了相對(duì)意義上的“冷”加工,大大減弱和消除了傳統(tǒng)加工中熱效應(yīng)帶來的諸多負(fù)面影響。
飛秒激光加工精度高,不受光的衍射極限的限制,具有很高的空間分辨性。
飛秒激光加工對(duì)材料沒有選擇和限制性,可以對(duì)任何材料進(jìn)行精細(xì)加工、修復(fù)和處理。
飛秒激光加工需要的脈沖能量閥值極低,一般只有毫焦耳量級(jí),這決定了加工的能量低耗性。
飛秒激光加工精度高,不受光的衍射極限的限制,具有很高的空間分辨性。
飛秒激光能對(duì)石英、玻璃、晶體、光纖等各種透明材料內(nèi)部進(jìn)行三維加工和改性。激光光強(qiáng)大于多光子吸收閥值時(shí),會(huì)激發(fā)透明材料對(duì)光子能量的吸收。迅速升溫然后驟然降溫,可導(dǎo)致光學(xué)透明材料折射率的變化。
通過飛秒激光雙光子聚合微細(xì)加工技術(shù)來實(shí)現(xiàn)聚合物的制備。通過雙光子聚合反應(yīng),并同時(shí)產(chǎn)生固化,生成大分子的聚合物,這樣就得到了需要的三維結(jié)構(gòu)制件。
在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,作為超精密外科手術(shù)刀,飛秒激光可用于視力矯正手術(shù);也可用于無痛牙科治療,可以避免了因溫度變化引起的神經(jīng)痛感。
在材料制備方面,飛秒激光應(yīng)用于脈沖激光沉積領(lǐng)域,可以進(jìn)行新材料薄膜制備。
在100 μm厚的不銹鋼薄片上鉆孔,飛秒激光的加工效果明顯好于納秒激光(圖1),非常干凈。
圖1 納秒脈沖和飛秒脈沖在100 μm厚的不銹鋼薄片上的鉆孔效果對(duì)比,3.3 ns對(duì)200 fs,1萬個(gè)脈沖,燒蝕閾值附近
在激光脈沖重復(fù)率接近兆赫茲,并具有較高的平均功率的情況下,用于加工金屬時(shí),飛秒脈沖似乎比皮秒脈沖更有利。在用19 ps的激光脈沖鉆的孔,觀察到一個(gè)薄的熔融層。而用800 fs脈沖的時(shí)候,得到一個(gè)干凈的燒蝕區(qū)(圖3)。
透明材料的焊接是一個(gè)在各個(gè)行業(yè)不可或缺的制造工藝,包括精密機(jī)械、醫(yī)療、光電產(chǎn)業(yè)等。
與用于微焊接的傳統(tǒng)激光器不同,飛秒激光以高峰值強(qiáng)度的固有特征,利用獨(dú)特的非線性吸收機(jī)制,在沒有插入中間層的情況下,可以直接焊接透明材料,如熔融石英(軟化點(diǎn),1720℃)與 SiC晶圓(熔點(diǎn),3100 ℃)的焊接。光學(xué)接觸的熔石英和碳化硅在下面的條件下被直接焊接在一起:
1)激光脈沖:50 kHz,240 fs,800 nm;
2)焊接速度和脈沖能量分別為0.5 mm/s和1 μJ。
硬而脆的材料,如藍(lán)寶石對(duì)下一代觸摸屏或被作為L(zhǎng)ED生長(zhǎng)的基底是很重要的。實(shí)驗(yàn)表明:不像皮秒脈沖,飛秒脈沖(<700 fs)可以在藍(lán)寶石當(dāng)中用來控制單一的裂縫方向(如圖4所示)。
圖4 裂紋形貌與激光脈沖寬度的依賴關(guān)系
與固體飛秒激光器相比,光纖飛秒激光器有很多優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)緊湊、高集成、高穩(wěn)定、免維護(hù)、免調(diào)試;高增益、低閾值、高轉(zhuǎn)換效率;散熱性能良好;高光束質(zhì)量。光纖激光器是實(shí)用化激光光源的重要方向。
圖5 摻鐿(Yb)增益光纖的吸收與發(fā)射光譜
啁啾脈沖放大技術(shù)是飛秒激光脈沖放大的必要手段。它的基本原理是在脈沖放大之前在時(shí)域上對(duì)其展寬,以避免脈沖畸變和光學(xué)損傷。然后將脈沖能量放大, 最后利用光學(xué)元件(棱鏡、光柵)對(duì)脈寬再壓縮(圖6)。
圖6 飛秒激光器結(jié)構(gòu)示意圖
實(shí)用化的光纖飛秒激光器如圖7所示。它由光纖鎖模振蕩器、光纖脈沖展寬器、光纖功率放大器及光柵脈沖壓縮器構(gòu)成。
圖7 光纖飛秒激光器結(jié)構(gòu)示意圖
在固體飛秒激光器中常用的體光柵脈沖展寬器,由于體積大、穩(wěn)定性差、難耦合進(jìn)單模光纖,并不適合用于光纖飛秒激光器。
如果單模保偏光纖能夠用作脈沖展寬器,這些問題就會(huì)得到解決。但是通常情況下,單模保偏光纖和體光柵脈沖壓縮器都有正的三階色散,不能相互補(bǔ)償,因此脈沖壓縮效果很差。
直到利用由功率放大器產(chǎn)生的非線性相位移動(dòng)來補(bǔ)償光纖脈沖展寬器和光柵壓縮器的3階色散,適合于工業(yè)/醫(yī)療應(yīng)用的穩(wěn)定可靠的光纖飛秒激光器才得以實(shí)現(xiàn)。
作為光纖飛秒激光器應(yīng)用的典型例子,美國(guó)IMRA公司和德國(guó)Carl Zeiss公司合作開發(fā)的眼科工具–VisuMax(圖8)所用的全飛秒激光手術(shù)技術(shù)是目前全球最先進(jìn)的角膜屈光手術(shù)方式。
- 更長(zhǎng)的被展寬脈沖;
- 更大孔徑的增益光纖;
- 盡可能短的增益光纖;
- 高階模損耗大的增益光纖;
- 更高衍射效率和損傷閾值的光柵。
這一研發(fā)項(xiàng)目完成后,將從理論上解決全光纖飛秒激光器的系統(tǒng)優(yōu)化問題,技術(shù)上實(shí)現(xiàn)大口徑光纖啁啾脈沖放大技術(shù)和創(chuàng)新的時(shí)空整形及聚焦技術(shù)。最終能實(shí)現(xiàn)核心器件的全自主研發(fā)和批量供應(yīng),飛秒激光器必將達(dá)到世界先進(jìn)水平并打破國(guó)外壟斷,滿足工業(yè)高產(chǎn)出率和高質(zhì)量的要求,帶動(dòng)上下游技術(shù)革新和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,服務(wù)中國(guó)制造2025。
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