戀夜直播app官方正版下载_戀夜直播高品质美女在线视频互动社区_戀夜直播官方版

閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
電子加工新聞

PI應(yīng)用 I 晶圓切片的高精度激光加工

來源:普愛納米位移2020-04-20 我要評(píng)論(0 )   

高導(dǎo)向精度 – 出色的速度控制 – 高重復(fù)精度制造芯片和微芯片涉及使用稱為晶圓切片的工藝將晶圓切割成小方塊或矩形“芯片”或“晶?!?。晶圓切片應(yīng)用中需要考慮的典型...

高導(dǎo)向精度 – 出色的速度控制 – 高重復(fù)精度


    制造芯片和微芯片涉及使用稱為晶圓切片的工藝將晶圓切割成小方塊或矩形“芯片”或“晶粒”。晶圓切片應(yīng)用中需要考慮的典型挑戰(zhàn)包括:準(zhǔn)確定位切口、較大限度地減少材料損耗和較大限度地減少元件變形。同時(shí),必須達(dá)到最大可能的加工速度。隨著要求的不斷提高,激光劃片已成為首選的劃片技術(shù)。這種非接觸式激光工藝很靈活,可避免切削刃處的破損。借助于各種自動(dòng)后加工工藝,可以進(jìn)一步改善邊緣的良好質(zhì)量,這也是抗裂性的決定性因素之一。這顯著減少了生產(chǎn)浪費(fèi),因此節(jié)省了生產(chǎn)成本。相應(yīng)地,激光劃片工藝同樣需要在高速下提供高精度和高直線度的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。



該運(yùn)動(dòng)解決方案的主要特點(diǎn)

  • 直接驅(qū)動(dòng)帶有空氣軸承的線性和旋轉(zhuǎn)平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)極限精度 

  • 高直線度、平面度和重復(fù)精度

  • 消除齒槽效應(yīng),實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)的速度控制 

  • 拖鏈電纜管理

  • 在晶圓工作點(diǎn)提供計(jì)量 

  • 全天候以高占空比運(yùn)行

  • 絕對(duì)編碼器消除了參考,同時(shí)提高了運(yùn)行期間的效率和安全性


旋轉(zhuǎn)軸 – 晶圓的定位和校正

  • 空氣軸承轉(zhuǎn)臺(tái)

  • 直接驅(qū)動(dòng)無齒槽效應(yīng)運(yùn)動(dòng)

  • 優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)精度、平面度和擺動(dòng)性能

  • 高剛性和高負(fù)載能力

  • 無塵室兼容
    帶空氣軸承的A-623 PIglide轉(zhuǎn)臺(tái)

掃描軸

  • XY平面空氣軸承平臺(tái)

  • 高速度和高加速度

  • 優(yōu)異的幾何性能

  • 分辨率達(dá)1納米

  • 適合于有限安裝空間的低剖面

  • 無塵室兼容
    帶空氣軸承的A-311 PIglide平面掃描儀


運(yùn)動(dòng)控制

  • 高性能EtherCAT運(yùn)動(dòng)控制器采用19英寸機(jī)架,集成了驅(qū)動(dòng)器、電源和功能安全性
    A-814 PIglide運(yùn)動(dòng)控制器

  • NanoPWM?驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)跟蹤誤差和較佳速度NanoPWM?驅(qū)動(dòng)器

  • 先進(jìn)的伺服控制算法,例如ServoBoost?

轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

位移平臺(tái)EtherCAT激光加工
免責(zé)聲明

① 凡本網(wǎng)未注明其他出處的作品,版權(quán)均屬于激光制造網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。獲本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使 用,并注明"來源:激光制造網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)責(zé)任。
② 凡本網(wǎng)注明其他來源的作品及圖片,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),版權(quán)歸原作者所有,如有侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系我們刪除。
③ 任何單位或個(gè)人認(rèn)為本網(wǎng)內(nèi)容可能涉嫌侵犯其合法權(quán)益,請(qǐng)及時(shí)向本網(wǎng)提出書面權(quán)利通知,并提供身份證明、權(quán)屬證明、具體鏈接(URL)及詳細(xì)侵權(quán)情況證明。本網(wǎng)在收到上述法律文件后,將會(huì)依法盡快移除相關(guān)涉嫌侵權(quán)的內(nèi)容。

相關(guān)文章
網(wǎng)友點(diǎn)評(píng)
0相關(guān)評(píng)論
精彩導(dǎo)讀