光刻機,其實就是一種切割工藝。硅芯片由片刻進行由切割產(chǎn)生單晶硅,然后經(jīng)過高溫c-f加工可以切割成硅片。硅片按照電子器件類型有cmos集成電路,hmsoc等等,都需要進行光刻處理,以達到實際應用的性能。光刻機要區(qū)分光刻工藝有兩大類,激光光刻和化學光刻兩大類。
激光光刻(如intelswrl,intelswrl:cobrushoxidelens)又稱為熱點光刻,是指用激光光熱離子束進行光刻的工藝。主要目的是獲得微縮版的半導體制造物,或是下層實體晶體管的圖案。根據(jù)光路,光刻中的激光首先經(jīng)過幾十或幾百攝氏度的高溫。然后經(jīng)過cmp全鋁化學氣相沉積技術(shù)。還需要用到化學氣相沉積的液體,一般都是有機溶劑,如cl2,h2,o2等。這是一個高溫高壓的過程,能讓多少離子包圍在晶體管的圖案上,就能看到多少離子。
除此之外,用到化學氣相沉積的液體一般都是高熔點的材料,如醇、醚、醛、醛酮等等。除了需要用到激光光熱離子還需要一種特殊的氧化劑來去除雜質(zhì)雜質(zhì),比如全鋁化學氣相沉積技術(shù)可能在最終版本的硅的光刻中會看到一種用于氧化的高氧化性雜質(zhì),叫作有機添加劑或者硝酸鹽。而化學光刻主要就是直接用硅刀切割,所以產(chǎn)品的性能和光刻機是沒有太大關(guān)系的,而光刻機的應用的制造光刻機。
轉(zhuǎn)載請注明出處。