近期,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所精密光學(xué)制造與檢測(cè)中心實(shí)驗(yàn)室在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進(jìn)展。研究首次證明了激光修形技術(shù)可以在近無應(yīng)力條件下,實(shí)現(xiàn)納米精度全頻段誤差一致性收斂。相關(guān)研究成果以“Densi-melting effect for ultra-precision laser beam figuring with clustered overlapping technology at full-spatial-frequency”為題發(fā)表于Optics Express。
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