激光制造網(wǎng) 來源：中科院理化所2024-12-16
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近期，中科院理化所先進(jìn)激光技術(shù)與應(yīng)用課題組基于Nd:YAG激光三倍頻產(chǎn)生紫外激光的技術(shù)路線，突破了高功率納秒調(diào)Q脈沖振蕩、低波前畸變行波放大、紫外強(qiáng)激光薄膜制備、高...
近期，中科院理化所先進(jìn)激光技術(shù)與應(yīng)用課題組基于Nd:YAG激光三倍頻產(chǎn)生紫外激光的技術(shù)路線，突破了高功率納秒調(diào)Q脈沖振蕩、低波前畸變行波放大、紫外強(qiáng)激光薄膜制備、高抗損傷高穩(wěn)定性紫外變頻等系列關(guān)鍵技術(shù)，研制出百瓦級大能量納秒脈沖紫外固體激光器樣機(jī)。
該樣機(jī)通過了專家組現(xiàn)場測試，獲得355nm激光平均功率138.8W、單脈沖能量達(dá)180mJ、脈沖寬度26.6ns、重復(fù)頻率800Hz，連續(xù)工作8h功率不穩(wěn)定度<1.8%，綜合指標(biāo)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)。該百瓦級大能量納秒脈沖紫外固體激光器在超精密冷加工、激光退火、激光鍍膜、激光摻雜等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。
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