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反射光學元件助力多光譜成像系統(tǒng)

激光制造網(wǎng)通訊員 來源:未知2011-01-07 我要評論(0 )   

傳統(tǒng)的光學系統(tǒng)設計通常利用透鏡的折射特性,但是對于需要在廣泛的激光波長范圍內實現(xiàn)多光譜成像的應用,基于透鏡的系統(tǒng)就明顯無法勝任了。相比之下,反射光學系統(tǒng)不但...

傳統(tǒng)的光學系統(tǒng)設計通常利用透鏡的折射特性,但是對于需要在廣泛的激光波長范圍內實現(xiàn)多光譜成像的應用,基于透鏡的系統(tǒng)就明顯無法勝任了。相比之下,反射光學系統(tǒng)不但能夠解決大功率多光譜傳輸,而且還能有效降低系統(tǒng)復雜度,節(jié)約成本。

在激光聚焦和多光譜成像應用中,折射式鏡頭的面型設計面臨著兩大主要挑戰(zhàn):挑戰(zhàn)之一是散射,事實上這也是每種介質的固有特性,波長決定了光束通過鏡頭的速度。散射導致不同波長的光線在聚焦時,焦點位置會有差異。復合鏡頭可以解決這個問題——通過選擇各種不同的材料做成鏡頭,由于每種材料都具有不同的光學特性,因此彼此之間可以互相平衡散射。

然而,這種方法只能工作在有限的波段,通常是工作在一些特殊波段,如可見光波段、近紅外波段以及短波紅外波段(SWIR)等。帶寬越寬,需要的元件就越多。這種折射方法除了需要花費更多的時間和成本外,其光學透射范圍也會受到各種鏡片的化學性質和固有特性的限制。

因此,這便導致了折射系統(tǒng)的第二個缺點:吸收。在大功率激光聚焦系統(tǒng)中,即使是很小一部分的光能量被吸收,就可能導致鏡頭嚴重損壞。傳統(tǒng)的解決方案是選擇鏡頭材料以及鍍膜,以提高對應激光波長處的透射率。

不幸的是,當同時需要多譜成像和大功率激光器時,這兩種解決方案并不能互相補足。在折射系統(tǒng)中,由于波段變寬,鍍膜所能夠達到的高透射率性能大大降低。因此對于一個傳統(tǒng)的鏡頭系統(tǒng)來說,要么需要限制光譜范圍,要么限制激光功率,這兩者不能同時滿足。

多透鏡需求

突顯這種困境的潛在成本的一種應用是:在生產過程中檢測和修理平板顯示。用可見光掃描整個平板表面,以找出缺陷,一旦缺陷被識別出來,高功率激光束(通常由1064nm的Nd:YAG激光器輸出)就會對準缺陷部位進行融化。對于服務于該應用的單獨光學系統(tǒng),其必須在紅外波段和可見光波段有著很高的透射率。而且,系統(tǒng)必須要將紅外光和可見光聚焦在相同點,這樣才能保證激光束能夠可靠地投射到缺陷處。

即便是能夠找到合適的材料在如此寬泛的波段都能提供優(yōu)良的透射性能,如此復雜且要求苛刻的光學系統(tǒng)也會非常昂貴。因此,已經(jīng)實施的解決方案就是使用兩組復合物鏡。第一組復合物鏡用于可見光掃描,通常結合氦氖激光器光斑通過系統(tǒng)透射用于準直目的。當氦氖激光光斑指向缺陷部位時,透鏡系統(tǒng)的電動控制臺就會移動到此處,然后用近紅外光來代替可見光路并進行激光去除。

因為需要多重鏡頭組、電動調整臺等,因此這種方案不但成本高昂,而且維修費用也非常高。近紅外鏡頭與可見光鏡頭不能夠同時聚焦在相同的平面,因此系統(tǒng)的準直非常重要,以確保激光燒蝕正常工作。

如果采用反射光學系統(tǒng),則只需要幾個光學元件就能滿足該應用需求,因為反射系統(tǒng)不受波長約束。反射系統(tǒng)不會產生散射;聚焦只與幾何面型有關系,因此不需要用多種元件進行校正。反射光路通過系統(tǒng)(取決于反射鏡的反射率)與波長有關,但是波長對其產生的影響并不大。金屬反射膜的光譜范圍有10μm、20μm等,不同的材料有著不同的反射率,從而允許反射鏡處理從紫外(150nm)到短波紅外(20μm)波段的光。如果需要極高的反射率以避免激光內部熱源的影響,則需要特殊的激光膜層,以提高激光波長處的反射率,同時在其余波段不會對系統(tǒng)的性能產生影響。

典型的反射系統(tǒng)只有幾個光學元件:一個主鏡用來聚焦,一個二級反射鏡將光路進行轉折到更有利的位置。二級反射鏡由一個“三腳架”固定,并用一個鏡筒來固定整個光學系統(tǒng)(見圖1)。由于這種反射系統(tǒng)簡化了光路,因此與折射系統(tǒng)相比,能夠大幅縮減成本,而且可以使結構變得更加緊湊,更加牢固,這是因為通過反射鏡的反射,系統(tǒng)的光軸發(fā)生變化,從而減少了系統(tǒng)的長度。

 

圖1:僅采用兩個反射鏡就能夠進行廣域光譜成像,同時沒有色差。

例如,在面板檢測以及維修時, 反射系統(tǒng)的優(yōu)點能夠得到很好的體現(xiàn):只需要一個鏡頭就能夠代替折射系統(tǒng)的兩個鏡頭,不需要安裝電動移位臺器件,體積得到進一步縮小,降低了成本,并能夠提高產能,因為在使用時不再需要轉換物鏡。這種簡化版的光學設計同時意味著系統(tǒng)調整變得更加簡單,比折射系統(tǒng)的投資回報率高出了許多。

設計考量

在多光譜應用中,反射光學系統(tǒng)比折射光學系統(tǒng)更易于設計和實施;然而,在選擇反射式物鏡時必須要考慮以下一些因素:第一就是選擇固定的系統(tǒng)還是可以調整的系統(tǒng)。固定版物鏡在工廠生產的時候就已調整到最佳狀態(tài),這種版本即使在震動以及意外碰撞下也不需要重新校準(見圖2)。而且,由于固定版物鏡安裝要比可調整版更結實可靠,即使從適當?shù)奈恢玫浠虻袈湟膊粫绊懫涫褂谩?/p>

 

圖2:固定版反射式物鏡用于調焦,大功率藍色激光束應用于生物醫(yī)療方面能簡化系統(tǒng)、使得系統(tǒng)更牢固、更緊湊。

固定版鏡頭非常適用于環(huán)境惡劣的工業(yè)應用,在安裝時不需要調整。為了詳細說明這種物鏡,開發(fā)人員必須知道變化距離——要么無窮遠或特殊的管長,以及蓋玻片厚度。一旦布置好后,以后就不需要再進行調整了。

調整版反射物鏡可通過一個或兩個參數(shù)來調整:鏡筒長度可調,或校正由于蓋玻片的厚度變化而導致的球差(見圖3)。通常只有鏡頭本身發(fā)生改變時才進行調整,但是,當主鏡和附鏡之間的距離發(fā)生變化時,也需要進行調整。廠商通常在出貨前會將光學性能調整到最佳狀態(tài),帶調整說明以及特殊部位說明,比如調整圖片。使用者可將其安裝在系統(tǒng)中,可通過鏡筒長度和蓋玻片厚度進行調整,然后固定。

 

圖3:可調整式反射物鏡能使開發(fā)應用人員通過調整光路來滿足特殊需求。

當調整型鏡頭需要定期調整時,其可通過多重結構來調整,功能多樣。這種鏡頭為現(xiàn)貨供應,比如可與小于典型值長度的鏡筒和蓋玻片厚度配套使用,不需要添加其他配件及額外費用就能夠滿足用戶的特殊需求。

無論是固定版還是調整版,在購買反射式物鏡時都需要注意一些關鍵點。其中最主要的是二級反射鏡以及三角座為成像帶來的陰影尺寸。二級反射鏡布局在主光路上,將不可避免地阻擋一部分光束通過系統(tǒng),降低光束質量。三角座的三個腿可導致衍射效應,采用四腳直行設計時情況更為嚴重。四腿對稱設計各個腳都會導致衍射效應,而且會相互疊加。三腿彎曲設計會避免上述缺陷,使光能透射更加均勻。#p#分頁標題#e#

在使用反射物鏡時,另外一個需要考慮的因素是激光功率。這種反射物鏡采用標準金屬膜層,應用范圍廣,但卻并不是大功率輸出激光器的最佳選擇。在與高功率激光配套使用時,需要考慮膜層的損傷閾值。有些廠商可以根據(jù)用戶的要求定制。

反射式物鏡可用于多種應用領域,如激光退火或鉆孔,可將可見光波長與紅外功率傳輸兩者相結合。使用一套光學系統(tǒng)就可測量波長為190nm到1μm薄膜的厚度。只要 在傳感器的響應范圍之內,成像系統(tǒng)可涵蓋各種波長范圍而不需要添加任何光學元件。

 

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