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       衡量半導(dǎo)體激光器件質(zhì)量的技術(shù)指標(biāo)包括輸出功率、峰值功率、脈沖寬度、功率穩(wěn)定性、功率～電流曲線、發(fā)光效率、閾值電流、工作電流和工作壽命等。其中．轅出功率和峰值功率都是關(guān)鍵的指標(biāo)，也是進(jìn)行上述各參量測(cè)試的基礎(chǔ)，因此功率和峰值功率測(cè)試是首要解決的問(wèn)題。

       與其它激光輸出不同的是半導(dǎo)體激光由于衍射效應(yīng)光束發(fā)射角極大(可達(dá)幾十度)。這就給測(cè)試帶來(lái)了的難度，用現(xiàn)有的儀器，幾乎無(wú)法對(duì)其進(jìn)行直接測(cè)試。

       根據(jù)半導(dǎo)體激光器的特點(diǎn)．我們采用積分球原理．使被測(cè)激光通過(guò)積分球入孔進(jìn)入經(jīng)漫反射處理的球內(nèi)后，在球內(nèi)壁多次漫反射從而在球表面上形成均勻光強(qiáng)分布區(qū)與入射激光成線性關(guān)系。在積分球出孔處放置一光電型探測(cè)器測(cè)量此處的功率即可得出進(jìn)入積分球的激光功率值。整套測(cè)試系統(tǒng)由積分球、功率采樣、電流采樣、波形采樣及數(shù)據(jù)處理幾個(gè)單元組成，功率測(cè)量范圍可達(dá)2cw，波長(zhǎng)范圍400—1100nm．可以對(duì)器件進(jìn)行全參量測(cè)量，包擴(kuò)激光平均功率及穩(wěn)定性、峰值功率、脈沖寬度、工作電流、P—I曲線、發(fā)光效率、閾值電流。整個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)關(guān)鍵是積分球，設(shè)計(jì)時(shí)必須考慮衰減比與腔體尺寸、腔內(nèi)表面涂層一必須確保涂敷物達(dá)到朗伯漫射體的要求。還必須考慮涂層的穩(wěn)定性這是影響測(cè)量重復(fù)性的關(guān)鍵因素。

       半導(dǎo)體激光參量技術(shù)的發(fā)展目標(biāo)集中在研制開(kāi)發(fā)低成本的中小功率計(jì)、大功率測(cè)量?jī)x器及高頻響應(yīng)的光電接收器件。國(guó)外用于半導(dǎo)體激光測(cè)試商品化的探測(cè)器已做到在可見(jiàn)光區(qū)60GHz，紅外光區(qū)45GHz