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準(zhǔn)分子激光器已成為紫外波段最有效的輻射源之一，由于其波長(zhǎng)短、光子能量大、脈寬窄、脈沖功率高，對(duì)材料刻蝕的縱橫尺寸能高精度控制等優(yōu)點(diǎn)，近年來(lái)被人們廣泛用于微機(jī)械、微光學(xué)等微加工手段。在實(shí)際應(yīng)用中，幾乎均要求準(zhǔn)分子激光器輸出的光束強(qiáng)度分布盡量均勻，因此迫切需要采用一些方法使激光光束能量分布均勻。準(zhǔn)分子激光均束方法很多，主要有以下幾種能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)分子激光束的能量均勻化。

棱鏡法：

當(dāng)一束光強(qiáng)分布近似高斯函數(shù)的準(zhǔn)平行激光束，通過(guò)棱鏡時(shí)，光束被四面棱鏡分成四束光束，四束光束在X-Y面上疊加后，光束分布均勻性有較好改善。在X-Y面上的一點(diǎn)的（x，y），經(jīng)過(guò)四面棱鏡后，X-Y面上的光強(qiáng)變化百分比小于3%，激光傳輸率可達(dá)94%，用棱鏡法可以獲得輸出光束很好的均勻效果和較高的激光傳輸率，但棱鏡法的均勻效果僅在輸入光束嚴(yán)格對(duì)稱時(shí)才獲得理想的效果，并且獲得均勻光束截面的位置極嚴(yán)格的對(duì)應(yīng)于光楔的角度。

反射鏡法：

當(dāng)一束光強(qiáng)分布近似高斯函數(shù)的準(zhǔn)平行激光束經(jīng)過(guò)透鏡L1聚焦到反射鏡M1上，經(jīng)過(guò)一次反射后，其能量分布將按照發(fā)生光束方向的改變和能量疊加現(xiàn)象，同樣經(jīng)過(guò)透鏡L2和反射鏡M2后，光束將再一次疊加。這樣經(jīng)過(guò)多次的光束疊加后，其初始的高斯光束能量分布將被均勻化。用反射鏡法也可以獲得輸出光束很好的均勻效果和較高的激光傳輸率，但反射鏡法的裝配和調(diào)試極為困難。

萬(wàn)花筒法：

當(dāng)光強(qiáng)分布為近似高斯分布的入射光以最大入射角θmax 進(jìn)入光波導(dǎo)后，只有和透鏡光軸平行的或和光軸成一較小夾角的光線不經(jīng)過(guò)反射直接通過(guò)波導(dǎo)管，其余入射光的光線將在波導(dǎo)管內(nèi)產(chǎn)生反射到達(dá)輸出面的不同點(diǎn)上。萬(wàn)花筒法制作、裝調(diào)簡(jiǎn)易，成本大大降低，能方便地改變輸出光斑的大小，但此系統(tǒng)的傳輸損耗較大。

柱面鏡法：

由四片柱面鏡圍成一個(gè)中空的方形結(jié)構(gòu)，每片柱面鏡安裝在一個(gè)精細(xì)調(diào)整架上，通過(guò)調(diào)節(jié)可以控制中空部分的尺寸和形狀，激光照射在裝置上，中空部分激光直接透過(guò)，照射在邊緣柱面透鏡上的光將補(bǔ)償?shù)街虚g光的弱光強(qiáng)部分，通過(guò)計(jì)算柱面鏡的參數(shù)和適當(dāng)調(diào)節(jié)調(diào)整旋鈕，就能得到均光效果，這種方法的優(yōu)點(diǎn)是光束透過(guò)率較高，均光效果較好，但設(shè)計(jì)人員要求較高，設(shè)計(jì)人員需要計(jì)算鏡片參數(shù)及設(shè)計(jì)高精度的微調(diào)機(jī)構(gòu)。

復(fù)眼透鏡列陣法：

蠅眼透鏡陣列聚光系統(tǒng)由m×m片焦距和尺寸相同的小透鏡組成的方形透鏡陣列L，透鏡列陣L把入射的準(zhǔn)直光束波面分割成m2束子光束，在靶面上形成的光強(qiáng)分布實(shí)際是球面聚光鏡將各子光束會(huì)聚在其焦平面上的光強(qiáng)的積分。使用透鏡陣列聚光系統(tǒng)，即使在入射光束近場(chǎng)分布均勻性很差的情況下，仍然可以在焦平面上得到均勻的光照效果。