戀夜直播app官方正版下载_戀夜直播高品质美女在线视频互动社区_戀夜直播官方版

閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
紫外激光器

Cymer公司將高效極紫外(EUV)光源的功率提高到55W

激光制造網(wǎng) 來源:中國光學(xué)期刊網(wǎng)2013-03-30 我要評論(0 )   

來自中國光學(xué)期刊網(wǎng)消息:Cymer公司推出了專為ASML光刻掃描儀配置的40W極紫外(EUV)光源,工作周期高達(dá)每小時刻蝕30張硅晶片,工作功率提高到55W時,性能更為優(yōu)異。 2...

       來自中國光學(xué)期刊網(wǎng)消息:Cymer公司推出了專為ASML光刻掃描儀配置的40W極紫外(EUV)光源,工作周期高達(dá)每小時刻蝕30張硅晶片,工作功率提高到55W時,性能更為優(yōu)異。
 
      2月底,這家總部位于圣地亞哥市的公司在SPIE先進(jìn)光刻技術(shù)展覽會(美國加利福尼亞州圣何塞市)上展示了其最新研究成果。展覽會上,Cymer公司詳細(xì)介紹了這套EUV光源的研發(fā)工作。例如,模擬結(jié)果表明,多個晶圓批次的芯片成品率超過了99.7%;該光源可以±0.2%的輸出劑量穩(wěn)定性連續(xù)工作超過6個小時,滿足商業(yè)掃描儀的要求。公司還宣稱,該光源的功率可在一個小時內(nèi)逐步提高到55W,模擬的芯片成品率為97.5%。公司計劃穩(wěn)步提高EUV光源的功率,使其達(dá)到60W,并保持當(dāng)前的工作周期和輸出劑量穩(wěn)定性。目前,Cymer公司正在與ASML公司洽談收購事宜。
 
      今年,ASML公司將幫助芯片制造商升級現(xiàn)有光源,使其到2014年中期具備每小時刻蝕70張晶圓的能力。要到達(dá)這一目標(biāo),輸出功率必須達(dá)到105W,而ASML掃描儀在升級之前,最初預(yù)計可提供80W的光源。
 
      現(xiàn)在,三臺正在接受測試的EUV光源都配有主振蕩器功率放大器(MOPA)升級和 “預(yù)脈沖”系統(tǒng),可在超高功率CO2激光器轟擊光源內(nèi)的錫液滴靶丸之前將其尺寸擴(kuò)大。
 
      擴(kuò)大后的靶丸物理上可與激光更好地進(jìn)行匹配,當(dāng)錫被轟擊時,光源腔就能產(chǎn)生EUV輻射;接著,反射光學(xué)系統(tǒng)直接將光射向需要刻蝕的硅晶圓。眾所周知,使用預(yù)脈沖可提高整體的EUV光產(chǎn)生效率,經(jīng)濟(jì)效益更高。
 
      就EUV光刻的經(jīng)濟(jì)效益而言,如何保護(hù)光學(xué)薄膜免受光源等離子體腔中產(chǎn)生的碎片影響,是另一個關(guān)鍵要求。Cymer公司宣稱,他們已經(jīng)證實,所開發(fā)的60W光源發(fā)射出40億個EUV脈沖后,沒有出現(xiàn)任何早期損害機(jī)制的跡象。
 
      距離Cymer公司競爭對手Gigaphoton公司開發(fā)出一種類似“預(yù)脈沖”的方式,已經(jīng)有一段時間。上個月,Gigaphoton宣稱,其開發(fā)的光源已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)20W的峰值功率輸出?,F(xiàn)在,雖然Cymer公司被公認(rèn)處于EUV光源發(fā)展的前沿,但是ASML公司預(yù)計在未來的幾年里EUV光刻工具的出貨量是適度的(剛剛超過10臺),2015年之后其出貨量將大幅上升。
 
      針對EUV,Cymer公司的目標(biāo)是趕超ArF準(zhǔn)分子激光器的功率增長速度。在半導(dǎo)體行業(yè)當(dāng)前這一代光刻掃描儀的光源中,ArF準(zhǔn)分子激光器占據(jù)主導(dǎo)地位。Cymer公司生產(chǎn)的準(zhǔn)分子激光器從1W的光源開始做起,目前其最新一代產(chǎn)品的功率可達(dá)120W——Gigaphoton公司所達(dá)到的功率水平。
 

 

轉(zhuǎn)載請注明出處。

暫無關(guān)鍵詞
免責(zé)聲明

① 凡本網(wǎng)未注明其他出處的作品,版權(quán)均屬于激光制造網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。獲本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使 用,并注明"來源:激光制造網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)責(zé)任。
② 凡本網(wǎng)注明其他來源的作品及圖片,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),版權(quán)歸原作者所有,如有侵權(quán)請聯(lián)系我們刪除。
③ 任何單位或個人認(rèn)為本網(wǎng)內(nèi)容可能涉嫌侵犯其合法權(quán)益,請及時向本網(wǎng)提出書面權(quán)利通知,并提供身份證明、權(quán)屬證明、具體鏈接(URL)及詳細(xì)侵權(quán)情況證明。本網(wǎng)在收到上述法律文件后,將會依法盡快移除相關(guān)涉嫌侵權(quán)的內(nèi)容。

網(wǎng)友點評
0相關(guān)評論
精彩導(dǎo)讀