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激光檢測

激光三角檢測技術(shù)

星之球激光 來源:光學(xué)光電子行業(yè)網(wǎng)2011-08-13 我要評論(0 )   

在激光三角檢測術(shù)中,用一精細(xì)聚焦的激光束來掃描圓片表面,光學(xué)系統(tǒng)將反射的激光聚焦到探測器(圖1)。采用3D激光三角檢測術(shù)來檢測微凸點(diǎn)的形貌時,在精度、速度和可檢...

       在激光三角檢測術(shù)中,用一精細(xì)聚焦的激光束來掃描圓片表面,光學(xué)系統(tǒng)將反射的激光聚焦到探測器(圖1)。采用3D激光三角檢測術(shù)來檢測微凸點(diǎn)的形貌時,在精度、速度和可檢測性等方面它具有明顯的優(yōu)勢。這一檢測技術(shù)目前所面臨的挑戰(zhàn)包括有凸點(diǎn)的尺寸和凸點(diǎn)之間的間隔都很小,以及在整個圓片上布滿有數(shù)百萬個凸點(diǎn)。

 
圖1. 激光三角檢測術(shù)通過對精確聚焦激光探測束的反射來推算凸點(diǎn)的高度

  激光三角檢測術(shù)在激光探測束的掃描過程中能獲得硅基片和凸點(diǎn)頂部數(shù)據(jù),由于它對凸點(diǎn)表面及其周邊的基片只進(jìn)行單次的掃描,這樣就可以消除了在不同高度進(jìn)行多次掃描而帶來的誤差和內(nèi)在的不確定性。單次掃描方法可對z方向進(jìn)行高準(zhǔn)確度和高精密度的檢測,其性能可以達(dá)到探測器的理論分辨率——這要比目前凸點(diǎn)尺寸小一個數(shù)量級以上。

  激光三角檢測術(shù)除了具有很高的檢測準(zhǔn)確度和精確度以外,它還具有與生產(chǎn)能力相當(dāng)?shù)臋z測速度,數(shù)據(jù)的采集速率足以滿足大生產(chǎn)過程中對整個圓片進(jìn)行檢測的需求。在全晶圓檢測模式中,系統(tǒng)通過一系列相近的線掃描來覆蓋整個圓片,單個掃描為600μm寬的長條形區(qū)域,所產(chǎn)生的典型數(shù)據(jù)密度為40,000個數(shù)據(jù)點(diǎn)/mm2(圖2)。變換采樣密度可對檢測過程進(jìn)行優(yōu)化,以最大程度地滿足某些特別應(yīng)用對分辨率、精確度和產(chǎn)量的要求,而且還可以很容易地滿足將來凸點(diǎn)直徑和節(jié)距進(jìn)一步減小后對檢測的要求。數(shù)據(jù)密度能夠根據(jù)所需的特征尺寸和產(chǎn)量進(jìn)行增加或減小。該系統(tǒng)可以在高產(chǎn)量下實現(xiàn)全晶圓的檢測,通過實施僅檢測指定芯片的采樣計劃,就有可能在維持檢測統(tǒng)計有效性的情況下來增加檢測產(chǎn)量。

 

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