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　1. 引言

　　高功率半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)作為發(fā)展成熟的激光光源，在材料加工和固體激光器泵浦領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。盡管高功率半導(dǎo)體具備轉(zhuǎn)換效率高、功率高、可靠性強(qiáng)、壽命長(zhǎng)、體積小以及成本低等諸多優(yōu)點(diǎn)，但是光譜亮度相對(duì)較差則是一個(gè)不容忽視的缺點(diǎn)。半導(dǎo)體激光器bar條典型的光譜帶寬大約是3～6nm，而且峰值波長(zhǎng)會(huì)受工作電流和工作溫度的影響而發(fā)生漂移。

　　通常，摻釹固體晶體是對(duì)其相對(duì)較寬的808nm吸收帶進(jìn)行泵浦，標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)能很容易地滿足808nm泵浦的光譜要。但是在過去幾年里，隨著半導(dǎo)體激光器bar條的工作電流和功率的不斷提高，導(dǎo)致在從閾值電流上升到工作電流的過程中產(chǎn)生了更大的波長(zhǎng)漂移。為了確保在整個(gè)工作范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、有效的泵浦，需要控制泵浦半導(dǎo)體激光器的光譜，使其光譜帶寬始終與激活激光介質(zhì)的吸收帶寬相匹配。

　　另一方面，光纖激光器的迅速發(fā)展，也增加了對(duì)其他波長(zhǎng)的泵浦源的需求。例如，泵浦波長(zhǎng)為1080nm左右的標(biāo)準(zhǔn)摻鐿光纖激光器，就需要915nm、940nm和980nm的光纖耦合半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)，特別是980nm泵浦區(qū)尤為重要，因?yàn)閾借O材料在該泵浦區(qū)具有較高的吸收系數(shù)和較窄的吸收帶寬。

　　另一個(gè)新的泵浦波長(zhǎng)是在888nm泵浦Nd：YVO4，與808nm泵浦相比，888nm泵浦的優(yōu)勢(shì)在于該波長(zhǎng)處于各向同性吸收區(qū)，即在所有偏振方向上具有相同的吸收系數(shù)，并且量子虧損小。[1]

　　對(duì)于光譜線寬要求最高的應(yīng)用之一是堿金屬蒸汽激光器（如銣或銫）的光泵浦，這類應(yīng)用需要的線寬大約為10GHz。對(duì)于這些應(yīng)用，要實(shí)現(xiàn)有效泵浦，控制半導(dǎo)體激光器泵浦源的光譜。[2]

　　由多個(gè)半導(dǎo)體激光器bar條構(gòu)成的高功率半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)的另一缺點(diǎn)在于相對(duì)較差的光束質(zhì)量和亮度B，公式（1）是B的定義。半導(dǎo)體激光器光束的亮度由激光功率P以及慢軸和快軸方向上的光束參數(shù)乘積（BPP）a所確定。[3]

　　普通大面積半導(dǎo)體激光器bar條的輸出光束是由對(duì)于光束尺寸和發(fā)散角高度非對(duì)稱的參數(shù)來表征的?？燧S方向上的光束質(zhì)量約為1mm•mrad，接近衍射極限；然而，標(biāo)準(zhǔn)10mm大面積半導(dǎo)體激光器bar條慢軸方向上的光束質(zhì)量在400～500mm•mrad之間，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了衍射極限。

　　最近幾年中，通過增加每個(gè)發(fā)射體的輸出功率和減小慢軸發(fā)散角，半導(dǎo)體激光器bar條的亮度已經(jīng)得到了顯著提高。這些進(jìn)展帶來了發(fā)射體數(shù)量減少、發(fā)射體間距增加的新型半導(dǎo)體激光器設(shè)計(jì)。這些迷你bar條比傳統(tǒng)的10mm大面積半導(dǎo)體激光器bar條更具優(yōu)勢(shì)。[4]

　　半導(dǎo)體激光器系統(tǒng)亮度的進(jìn)一步增強(qiáng)是通過偏振耦合和波長(zhǎng)復(fù)用實(shí)現(xiàn)的。偏振耦合僅能將亮度提高一個(gè)單位系數(shù)的兩倍，而波長(zhǎng)復(fù)用技術(shù)受可用波長(zhǎng)數(shù)量n的限制。 事實(shí)上，波長(zhǎng)復(fù)用進(jìn)行功率擴(kuò)展是以犧牲光譜亮度為代價(jià)。

　　標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體激光器光源的波長(zhǎng)復(fù)用，以及基于非介質(zhì)膜的波長(zhǎng)耦合器，需要大約30nm的光譜寬度。通過使用具有穩(wěn)定的窄帶發(fā)射光譜的半導(dǎo)體激光源和體全息光柵作為組合單元，光譜距離可以顯著縮減到3nm。[5]結(jié)果，對(duì)于給定的光譜范圍，能夠被復(fù)用的半導(dǎo)體激光器bar條的數(shù)量增加，進(jìn)而使亮度增強(qiáng)。

　　光譜穩(wěn)定的半導(dǎo)體激光器模塊更大的優(yōu)點(diǎn)是其對(duì)工作溫度和工作電流的敏感性降低，從而使冷卻系統(tǒng)更加簡(jiǎn)便。另外，其對(duì)于芯片材料的規(guī)格要求也降低了，提高了生產(chǎn)中的晶圓利用率；而且還消除了隨著半導(dǎo)體激光器工作時(shí)間增加而引起的波長(zhǎng)變化（“紅移”）。然而，應(yīng)該指出的是，所有這些優(yōu)點(diǎn)的獲得要取決于體全息光柵的鎖定范圍。

　　下面將介紹不同的波長(zhǎng)穩(wěn)定技術(shù)。

2. 波長(zhǎng)穩(wěn)定的基本概念

　　2.1波長(zhǎng)穩(wěn)定的方法

　　在過去，為了改善半導(dǎo)體激光器bar條的光譜亮度，研究人員探討了一些不同的方法。這些方法可分為激光器內(nèi)部和外部解決方案。內(nèi)部解決方案將波長(zhǎng)穩(wěn)定結(jié)構(gòu)集成到半導(dǎo)體激光器bar條內(nèi)部，而外部解決方案則是將體全息光柵與布拉格光柵分開，以穩(wěn)定波長(zhǎng)。

　　分布式反饋半導(dǎo)體激光器（DFB）是采用內(nèi)部波長(zhǎng)穩(wěn)定解決方案的一個(gè)典型例子，用于選擇性光譜反饋的光柵被集成在激光器bar條的激活區(qū)結(jié)構(gòu)中。這樣，波長(zhǎng)隨溫度的漂移指標(biāo)將減少到大約0.08nm/K，光譜帶寬將減少到小于1nm。[6,7,8]很明顯，這種DFB-半導(dǎo)體激光器的制造過程更為復(fù)雜，導(dǎo)致成本增加。這種激光器的另一個(gè)缺點(diǎn)是效率降低。

　　除了內(nèi)部波長(zhǎng)穩(wěn)定方案，研究人員還探討了通過外部元件實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)穩(wěn)定的解決方案。外部波長(zhǎng)穩(wěn)定元件的一個(gè)例子是基于光熱折變（PTR）無機(jī)玻璃的厚體光柵。這種光柵通過紫外光照射下折射率的周期性變化，實(shí)現(xiàn)在這種感光玻璃內(nèi)記錄高效布拉格光柵。市場(chǎng)上有不同廠商出售這種體衍射光柵，只是名字稍有不同，如體布拉格光柵（VBG）[9]、體全息光柵（VHG）[10]，或是體布拉格光柵激光器（VOBLA）[11]。

　　與內(nèi)部解決方案相反，外部波長(zhǎng)穩(wěn)定不需要對(duì)芯片結(jié)構(gòu)做任何修改，也就是說，通過外部體全息光柵就能夠?qū)?biāo)準(zhǔn)大面積半導(dǎo)體激光器bar條進(jìn)行波長(zhǎng)穩(wěn)定。這是外部解決方案的一個(gè)重要優(yōu)勢(shì)。此外，與內(nèi)部解決方案相比，外部波長(zhǎng)穩(wěn)定方案能獲得更小的溫度漂移和光譜帶寬：溫度漂移能減少到約0.01nm/K，光譜寬度減小到小于0.3 nm。然而，外部波長(zhǎng)穩(wěn)定方案的一個(gè)重要缺點(diǎn)是需要敏感和高度對(duì)準(zhǔn)的VHG。

　　圖1所示的是采用外部波長(zhǎng)穩(wěn)定方案的半導(dǎo)體激光器bar條的典型組成。VHG的角度敏感性有利于減少半導(dǎo)體激光器bar條的發(fā)散，特別是在快軸方向上利用快軸準(zhǔn)直透鏡（FAC）來準(zhǔn)直光束。VHG將顯著提高光學(xué)反饋。VHG直接置于FAC之后。圖1中的表格所示的是有效波長(zhǎng)穩(wěn)定所需的典型對(duì)準(zhǔn)公差。

　　圖1：采用波長(zhǎng)穩(wěn)定方案的半導(dǎo)體激光器bar條的典型組成，VHG直接置于快軸準(zhǔn)直透鏡（FAC）之后。表中給出了圖中所示組成的典型對(duì)準(zhǔn)公差。
Typical tolerances for rotation：典型旋轉(zhuǎn)公差
x-axis：x軸；y-axis：y軸；z-axis：z軸

　　2.2 半導(dǎo)體激光器參數(shù)對(duì)外部波長(zhǎng)穩(wěn)定性能的影響

　　為了獲得有效、穩(wěn)定的波長(zhǎng)穩(wěn)定方案，必須對(duì)半導(dǎo)體激光器bar條的相關(guān)參數(shù)進(jìn)行仔細(xì)控制，這些參數(shù)包括輸出面增透膜的反射率、發(fā)射體結(jié)構(gòu)、腔長(zhǎng)、smile效應(yīng)、角度發(fā)射特性以及安裝技術(shù)等，這些參數(shù)將影響波長(zhǎng)隨工作電流和工作溫度的漂移。#p#分頁標(biāo)題#e#

　　通過折射率調(diào)制、改變空間頻率和厚度，可以優(yōu)化VHG的性能。這三個(gè)獨(dú)立的參數(shù)決定布拉格角、衍射效率、光柵的光譜和角度選擇性。原則上，對(duì)于每種配置，這些VHG參數(shù)都必須分別優(yōu)化。然而根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于大多數(shù)常用的半導(dǎo)體激光器bar條，VHG反射率約為20％。當(dāng)然，與沒有采用波長(zhǎng)穩(wěn)定方案的半導(dǎo)體bar條相比，對(duì)于給定的電流，采用波長(zhǎng)穩(wěn)定方案的bar條因?yàn)椴迦肓艘粋€(gè)VHG，將會(huì)導(dǎo)致輸出功率有所下降。具有更高反射率的VHG將增加鎖定范圍，代價(jià)是更高的功率損耗。這意味著波長(zhǎng)穩(wěn)定的優(yōu)化始終需要在鎖定范圍和功率損耗間進(jìn)行權(quán)衡。此外，重要的是要注意到最佳反射率的選取也視應(yīng)用需求而定。對(duì)于某些應(yīng)用，VHG需要優(yōu)化以得到大的鎖定范圍，而對(duì)于固定工作條件的應(yīng)用，則可能要求較低的損耗。