Rofin公司專門面向需要高平均功率和高脈沖能量的材料微加工應(yīng)用推出了包含Q開關(guān)的固體激光器(solid laser)系列——PowerLine L系列。該系列激光器可用于去除玻璃基底以及柔性材料上的薄膜、介電層消融、硅片加工、鉆孔和切割等。
PowerLine L 300激光器的輸出波長為1064nm,可用于太陽能電池制造過程中的去邊應(yīng)用。PowerLine L 300能在10kHz頻率下提供超過200W的激光功率,并采用芯徑為400μm的正方形光纖輸出。與圓形光纖相比,正方形光纖能夠提供更高的耦合效率。
其中,PowerLine L 100 SHG適用于晶硅太陽能電池制造中的多種應(yīng)用。經(jīng)過倍頻的PowerLine L 100 SHG能為太陽能電池制造中的大規(guī)模生產(chǎn)提供優(yōu)化的光束質(zhì)量和足夠高的功率。波長532nm的綠色激光,在硅片加工中能夠?qū)崿F(xiàn)人們期望的近表面吸收,并可與廣泛的光學(xué)元件和光纖聯(lián)合使用。利用優(yōu)化的光纖,還可以實現(xiàn)頂帽光束特性,實現(xiàn)整個光斑范圍內(nèi)的同質(zhì)能量分布。
PowerLine L系列Nd:YAG激光器采用半導(dǎo)體激光器泵浦,具備工業(yè)應(yīng)用中24/7運行的可靠性。其Q開關(guān)設(shè)置,能獲得比連續(xù)波激光器高出1000倍的峰值脈沖功率。該系列提供的標(biāo)準(zhǔn)配置包括一根連接到激光頭的輸出光纖,可選配件包括光纖輸出耦合器和掃描速度超過10m/s的掃描頭。
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