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在激光三角檢測術(shù)中，用一邃密聚焦的激光束來掃描圓片概況，光學(xué)體系將反射的激光聚焦到探測器（圖1）。采納3D激光三角檢測術(shù)來檢測微凸點(diǎn)的描摹時(shí)，在精度、速率和可檢測性等方面它具備較著的上風(fēng)。這一檢測技能今朝所面對的挑釁包含有凸點(diǎn)的尺寸和凸點(diǎn)之間的隔斷都很小，和在全部圓片上充滿有數(shù)百萬個(gè)凸點(diǎn)。
 
激光三角檢測術(shù)在激光探測束的掃描進(jìn)程中能得到硅基片和凸點(diǎn)頂部數(shù)據(jù)，因?yàn)樗鼘ν裹c(diǎn)概況及其周邊的基片只進(jìn)行單次的掃描，如許便可以解除了在分歧高度進(jìn)行屢次掃描而帶來的偏差和內(nèi)涵的不確定性。單次掃描法子可對z標(biāo)的目的進(jìn)行高正確度和高緊密度的檢測，其機(jī)能可以到達(dá)探測器的實(shí)際辨別率——這要比今朝凸點(diǎn)尺寸小一個(gè)數(shù)目級(jí)以上。
 
激光三角檢測術(shù)除具備很高的檢測正確度和切確度之外，它還具備與出產(chǎn)本領(lǐng)相當(dāng)?shù)臋z測速率，數(shù)據(jù)的收集速度足以滿意大出產(chǎn)進(jìn)程中對全部圓片進(jìn)行檢測的需要。在全晶圓檢測形式中，體系經(jīng)由過程一系列附近的線掃描來籠蓋全部圓片，單個(gè)掃描為600μm寬的長條形地區(qū)，所發(fā)生的典范數(shù)據(jù)密度為40,000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)/妹妹2（圖2）。變更采樣密度可對檢測進(jìn)程進(jìn)行優(yōu)化，以最大水平地滿意某些特別利用對辨別率、切確度和產(chǎn)量的請求，并且還可以很容易地滿意未來凸點(diǎn)直徑和節(jié)距進(jìn)一步減小后對檢測的請求。數(shù)據(jù)密度能夠按照所需的特性尺寸和產(chǎn)量進(jìn)行增長或減小。該體系可以在高產(chǎn)量下完成全晶圓的檢測，經(jīng)由過程施行僅檢測指定芯片的采樣籌劃，就有大概在保持檢測統(tǒng)計(jì)有用性的環(huán)境上去增長檢測產(chǎn)量。