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        激光鉆孔的原理是將高能量的激光束照射在加工物體上，物體被照射部分溫度上升，當溫度達到熔點時開始熔化，同時吸收熔化潛熱；被熔化的物體在激光束照射下繼續(xù)受熱，溫度進一步上升，當液體達到汽化溫度時，開始汽化，同時吸收汽化潛熱，汽化物不斷揮發(fā)，在物體上不斷留下深孔，完成鉆孔過程。

       在高效率太陽能電池生產中，高速激光鉆孔是一個重要的加工步驟，特別是在需要在每個單元上鉆出10000多個通孔的發(fā)射極穿孔卷繞（EWT)太陽能電池的制造中。因為太陽能電池生產線上的單個加工步驟的典型持續(xù)時間為1-2秒，每秒10000個通孔的鉆孔速度是工業(yè)化大規(guī)模生產的最低要求。

       目前市場上可獲得的激光源與掃描振鏡所能實現的最大鉆孔速率為每秒4000孔。采用一種新的光學概念，將高性能振鏡掃描和激光分頻器的結合使用，為實現高速激光鉆孔提供了一種潛在解決方案。這種方案要求激光源的平均輸出功率達到幾百瓦，脈沖寬度保持在微秒范圍。目前已經有一些不同的系統(tǒng)解決方案可滿足用戶的不同需求。

        研究表明，脈沖寬度和脈沖能量是實現高效鉆孔的關鍵因素。通過使用兩臺Jenoptik Jenlas IR 70激光器，有望在200微米厚的晶圓上實現9600孔/s的鉆孔速度，在180微米厚的晶圓上實現12500孔/s的鉆孔速度。