近日,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光單元技術(shù)研發(fā)中心為大型激光裝置研制的240毫米口徑旋光玻璃取得重要進(jìn)展并實(shí)現(xiàn)小批量交付。
首批交付的研制產(chǎn)品厚度為24毫米,實(shí)現(xiàn)了全口徑范圍內(nèi)無(wú)條紋、無(wú)氣泡,透過(guò)波前畸變均優(yōu)于λ/10(632.8nm),光學(xué)均勻性優(yōu)于2×10-6(圖1為ZYGO干涉儀透過(guò)波前畸變測(cè)試結(jié)果,圖2為精密拋光后的產(chǎn)品圖片)。
上海光機(jī)所旋光玻璃研制始于上世紀(jì)九十年代,先后為多個(gè)大型激光裝置提供了大口徑旋光玻璃。旋光玻璃光隔離器廣泛應(yīng)用于激光器及高功率激光裝置中,可以有效防止系統(tǒng)中的反射光對(duì)光學(xué)元器件的破壞,是激光裝置系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件。此次高品質(zhì)240mm口徑旋光玻璃的研制成功,標(biāo)志著上海光機(jī)所全面掌握了高品質(zhì)超大口徑旋光玻璃的生產(chǎn)工藝,為今后我國(guó)高功率激光系統(tǒng)的發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)保障。
透過(guò)波前畸變測(cè)試結(jié)果
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