EUV透過高能量、波長短的光源,解決既有顯影技術(shù)瓶頸,是先進制程發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)備,一臺要價1億歐元,晶圓代工廠導入EUV量產(chǎn)的時程,被業(yè)界視為技術(shù)領(lǐng)先的關(guān)鍵。
臺積電明年領(lǐng)先群雄,率先導入EUV量產(chǎn),意味再次棒打英特爾、三星等勁敵,晶圓代工龍頭地位屹立不搖。
臺積電董事長魏哲家證實,臺積電導入EUV的7納米強化版(7+)將于明年第2季量產(chǎn),是全球首家采用EUV為客戶量產(chǎn)芯片的晶圓代工廠。
稍早三星曾宣布取得蘋果部分處理器訂單,并宣稱是全球第一家在7納米導入EUV量產(chǎn)的半導體廠。魏哲家此言等于打臉三星,宣示臺積電技術(shù)含金量遠高于同業(yè),凸顯臺積電在先進制程已贏得全球芯片大廠信任。
魏哲家不愿透露首批導入EUV設(shè)備量產(chǎn)客戶,強調(diào)有多個產(chǎn)品導入7+FFT先進制程將會量產(chǎn)。據(jù)悉,臺積電將把EUV應(yīng)用于2020年量產(chǎn)的5納米制程,并開始應(yīng)用于3納米制程技術(shù)開發(fā),業(yè)界預(yù)期,臺積電挾EUV領(lǐng)先量產(chǎn)優(yōu)勢,將橫掃5G、AI等訂單。
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