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暨南大學(xué)和中國科學(xué)院的研究人員開發(fā)了一種等離子體增強(qiáng)激光納米焊接技術(shù)（PLNS），以提高使用飛秒激光直寫（FsLDW）制造的銀納米線的導(dǎo)電性。該項(xiàng)技術(shù)為快速生產(chǎn)均勻靈活和高導(dǎo)電性的大面積金屬納米電極和電容器，提供了一種高效經(jīng)濟(jì)的途徑。

FsLDW工藝用于構(gòu)建用于2D和3D工程圖案的銀納米線，并具有亞微米級的分辨率。這種納米加工方法具有多種優(yōu)勢，包括高分辨率、真實(shí)的三維度和靈活性，目前在光電器件制造領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。

然而，使用這種方法存在一個挑戰(zhàn)。使用FsLDW工藝構(gòu)建的銀納米線是由銀納米粒子的聚集體組成，其中含有會降低導(dǎo)電性的空隙或聚合物夾雜物。為了增加銀納米線的導(dǎo)電性并降低直寫銀納米線的電阻，研究人員旨在減少間隙并增加銀納米粒子間的接觸面積，從而減少電極中導(dǎo)電電子耗散的能量。

研究人員通過實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，利用光熱效應(yīng)可顯著增加相鄰銀納米粒子的接觸面積。對此，研究人員利用了FsLDW制造銀納米線的結(jié)構(gòu)特征，成功通過等離子體增強(qiáng)激光納米焊接提高銀納米線的導(dǎo)電性。在多光子效應(yīng)下，由納米粒子聚集體組成的納米線會減少。在激光照射下，納米粒子之間還會產(chǎn)生等離子體“熱點(diǎn)”。

銀納米粒子可以在室溫下通過等離子體增強(qiáng)的光熱效應(yīng)實(shí)現(xiàn)焊接。這一過程顯著增加了納米粒子之間的接觸面積，提高了納米線的導(dǎo)電性。與傳統(tǒng)退火不同，在納米焊接方法中，熱量集中在熱點(diǎn)附近，因此不會對基材造成熱損傷。

等離子體增強(qiáng)激光納米焊接系統(tǒng)示意圖和光學(xué)實(shí)驗(yàn)裝置如上圖（a）所示。中心波長為532nm、脈沖寬度為8ns、重復(fù)頻率為10Hz的脈沖Nd:YAG激光器（Spectra-Physics，Quanta-Ray）用作激光納米焊接的光源。

納秒脈沖激光束通過針孔形成直徑為5mm的光斑，以使激光束整形產(chǎn)生均勻的輻射光場。采用衰減器調(diào)節(jié)激光功率密度，利用機(jī)械快門控制激光照射時間精確到1ms，以研究激光照射對導(dǎo)電率的影響。

如上圖所示，基于銀離子的多光子吸收誘導(dǎo)光還原，通過 FsLDW 制造了平均尺寸約為30nm的銀納米線。在等離子體增強(qiáng)激光焊接工藝中，納秒脈沖激光對銀納米粒子的吸收會在幾皮秒的時間尺度上引起快速加熱和熔化。因此，相鄰的銀納米粒子在激光照射后接觸并焊接在一起。當(dāng)幾個納米粒子聚集在一起時，由銀納米粒子的表面等離子共振（SPR）引起的光熱效應(yīng)可以大大增強(qiáng)。

因此，低密度的光集中在兩個相鄰的銀納米粒子之間的間隙處，這些區(qū)域被稱為“熱點(diǎn)”。研究人員對激光與銀納米粒子的相互作用進(jìn)行建模，等離子體增強(qiáng)電場的數(shù)值計(jì)算如上圖（c）所示。

當(dāng)入射光的偏振方向平行于粒子間軸而不是垂直于粒子間軸時，粒子間的電場顯著增強(qiáng)。銀納米粒子的熱值與局部光場強(qiáng)度成正比。增強(qiáng)的光強(qiáng)度有利于將局部納米焊接溫度提高到室溫環(huán)境下的熔點(diǎn)。

上圖顯示的是等離子體增強(qiáng)激光納米焊接工藝示意圖。通過用532nm激光照射，將由銀納米粒子組成的銀納米線電極放置在蓋玻片上。在激光照射下，由于等離子共振吸收，銀納米線在532nm處具有強(qiáng)光吸收。這種光熱效應(yīng)可以使納米粒子通過將光能轉(zhuǎn)化為熱能產(chǎn)生溫度增強(qiáng)。

隨著溫度升高，納米粒子表面就會發(fā)生熔化或燒結(jié)，并通過圖（ii）所示的等離子體增強(qiáng)光場在粒子間隙處增強(qiáng)。當(dāng)兩個納米粒子結(jié)合在一起時，它們會形成一個“頸部”。銀納米粒子的熔化和燒結(jié)過程始于快速“頸部”的形成，然后是由表面擴(kuò)散驅(qū)動的“頸部”生長。最后，銀納米粒子的再結(jié)晶導(dǎo)致形成致密的銀納米線，如圖（iii）所示。

如上圖（e）所示。在激光納米焊接之前，銀納米線是由單個銀納米粒子組成，并且納米粒子之間存在大量納米間隔，如圖（ei）所示。激光納米焊接后，納米粒子的熔化導(dǎo)致納米間距的減小和粒徑的增加。隨著納米焊接時間的增加，熔化更加充分，納米粒子緊密連接，如圖（e-iii）所示。在足夠激光功率的照射下，等離子體增強(qiáng)激光納米焊接工藝可以加速銀納米粒子在特定區(qū)域內(nèi)的聚集，從而形成相對光滑和緊湊的連續(xù)納米線。

另外，激光納米焊接技術(shù)不需要復(fù)雜的后處理，直接提高了FsLDW制備銀納米線電極的導(dǎo)電性。研究人員還研究了激光功率密度和納米焊接時間對銀納米線導(dǎo)電率的影響，發(fā)現(xiàn)當(dāng)提升激光功率密度或增加納米焊接時間時，銀納米線的電阻會明顯降低。隨著激光照射時間的增加，納米焊接的納米粒子和納米間隙逐漸減少，此時導(dǎo)電率的增加就趨于飽和。

研究人員表示，近年來金屬納米線電極已廣泛應(yīng)用于光電探測器、柔性電路、觸控面板和其他設(shè)備中。除了提高銀納米線的導(dǎo)電性外，納米焊接方法還支持使用FsLDW構(gòu)建的銀納米電極作為活性表面增強(qiáng)拉曼光譜基板、透明電極、電容器、發(fā)光二極管和薄膜太陽能電池。未來，高性能納米電極將為微電子領(lǐng)域應(yīng)用發(fā)展，提供更有利的材料性能。