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飛秒光纖激光器為材料加工提供新途徑
星之球科技 來(lái)源:激光世界2017-02-05 我要評(píng)論(0 )
光纖激光器使用稀土摻雜光纖作為激活介質(zhì),用激光二極管作泵浦源,本身固有一些關(guān)鍵優(yōu)勢(shì),使它們?cè)谕ㄟ^(guò)鎖模產(chǎn)生超短脈沖方面頗具
光纖激光器使用稀土摻雜光纖作為激活介質(zhì),用激光二極管作泵浦源,本身固有一些關(guān)鍵優(yōu)勢(shì),使它們?cè)谕ㄟ^(guò)鎖模產(chǎn)生超短脈沖方面頗具吸引力。摻雜光纖的高增益帶寬和效率,允許制造相對(duì)便宜、緊湊、堅(jiān)固的光纖激光器系統(tǒng),這些系統(tǒng)提供適合廣泛應(yīng)用的光纖耦合輸出光束。
飛秒架構(gòu)
光纖提供較高的表面積 - 體積比,從而可實(shí)現(xiàn)有效的冷卻,并且可以根據(jù)特定性能參數(shù)進(jìn)行定制。光纖激光器最初僅限于連續(xù)波(CW)、低功率、單模運(yùn)行 ;經(jīng)過(guò)了三十多年的發(fā)展,現(xiàn)在光纖激光器已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)單模和多模運(yùn)行,波長(zhǎng)范圍覆蓋紫外(UV)到遠(yuǎn)紅外(far-IR)波段,并且能提供非常高的功率水平、可變的重復(fù)頻率,以及(也許的最顯著的)毫秒到飛秒級(jí)的脈寬。
不同于傳統(tǒng)的自由空間激光器,光纖激光器采用光纖和光纖布拉格光柵(FBG),后者取代了常規(guī)的介質(zhì)反射鏡,用于光學(xué)反饋。大多數(shù)高功率光纖激光器采用雙包層光纖架構(gòu),其中增益介質(zhì)在光纖的纖芯,由兩層包層包圍。來(lái)自激光二極管或另一個(gè)光纖激光器的多模泵浦光束,在內(nèi)包層中傳播并受到外包層的約束,激發(fā)激活介質(zhì),并產(chǎn)生在光纖纖芯中傳播的激射模式。
為了產(chǎn)生超快激光脈沖,需要采用主動(dòng)或被動(dòng)鎖模技術(shù)。今天用于被動(dòng)鎖模的一些技術(shù),包括非線(xiàn)性偏振旋轉(zhuǎn)和飽和吸收技術(shù),而電光或聲光調(diào)制器用于主動(dòng)鎖模。
在半導(dǎo)體可飽和吸收鏡(SESAM)中,半導(dǎo)體量子阱生長(zhǎng)在半導(dǎo)體分布式布拉格反射器上,SESAM 已成功地用于制造工作在1.0μm 和 1.5μm 波長(zhǎng)處的飛秒光纖激光器。通過(guò)采用石墨烯可飽和吸收體的摻鉺(Er)光纖激光器,已經(jīng)展示了自啟動(dòng)鎖模和穩(wěn)定的孤子脈沖產(chǎn)生。這些只是商業(yè)激光器制造商正在采用的幾種飛秒光纖激光器架構(gòu),以滿(mǎn)足各種科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用。
非線(xiàn)性鎖模
對(duì)于可重復(fù)的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,德國(guó)Menlo Systems公司的“figure 9”技術(shù)采用行之有效的非線(xiàn)性光學(xué)環(huán)鏡(NOLM)鎖模機(jī)制。振蕩器和放大器均只使用保偏光纖組件,實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性和低噪聲,運(yùn)行免維護(hù)。
Menlo的摻鉺光纖激光器在中心波長(zhǎng)1560nm和780nm處具有寬帶增益,提供標(biāo)準(zhǔn)和高功率型號(hào),在50~250MHz 的重復(fù)頻率范圍內(nèi),具有 <90fs 的脈寬。Menlo 的摻鐿(Yb)Orange飛秒光纖激光器,工作在1040nm 和 520nm 波長(zhǎng)處,平均功率>10W,并提供 <150fs 的脈寬。作為一家光學(xué)頻率梳開(kāi)發(fā)商,Menlo 的所有激光器系統(tǒng)均能夠以高精度同步。這些系統(tǒng)廣泛用于光譜學(xué)、顯微、計(jì)量、引力觀(guān)測(cè)和材料加工領(lǐng)域。
BlueCut 包含一個(gè)振蕩器、一個(gè)配備脈沖拾取單元的放大器,以及用于高能量短脈沖的壓縮器,是 Menlo的工業(yè)級(jí)微焦耳光纖激光器系統(tǒng)?;谌饫w集成技術(shù),該系統(tǒng)堅(jiān)固、穩(wěn)定,可用于微加工應(yīng)用(見(jiàn)圖 1)。
光纖CPA
基于其光纖啁啾脈沖放大(FCPA)技術(shù),美國(guó)IMRA America公司的 FCPA μJewel 系列,由具有足夠脈沖能量的摻鐿光纖激光器組成,甚至在1045nm 波長(zhǎng)處(見(jiàn)圖 2)。FCPA 架構(gòu)允許用戶(hù)在兩種模式下進(jìn)行選擇 :100kHz 或 200kHz 的重復(fù)頻率、高達(dá)50μJ 的高能量模式 ;以及1MHz下10W和20W的高平均功率模式。該選擇允許用戶(hù)根據(jù)應(yīng)用需求,以更快的速率進(jìn)行材料加工。
IMRA 的拉曼頻移技術(shù),讓摻鉺拉曼頻移飛秒光纖激光器在 810nm波長(zhǎng)處,產(chǎn)生了干凈的脈沖形狀和光譜,從而使 Femtolite 光纖激光器能夠替代鈦藍(lán)寶石(Ti:sapphire)激光器——這類(lèi)激光器一直是臨床和工業(yè)飛秒應(yīng)用中的主力軍。在 810nm 和1620nm 波長(zhǎng)處,F(xiàn)emtolite 的功率范圍覆蓋 150~200mW,這在太赫茲波產(chǎn)生和探測(cè)、多光子熒光顯微鏡,以及二次諧波成像中非常有用。
此外,飛秒脈沖可通過(guò)光纖傳送到最終用戶(hù)設(shè)備中。Femtolite FD系列提供光纖耦合輸出,重復(fù)頻率50MHz,平均輸出功率高達(dá) 1W。這種水平的脈沖能量,對(duì)于需要將飛秒脈沖光源靈活地集成到設(shè)備中的許多非線(xiàn)性成像或計(jì)量應(yīng)用而言,已經(jīng)足夠用了。
同樣地,光纖激光器啁啾脈沖放大器(FLCPA),也是美國(guó) CalmarLaser 公 司 Cazadero 高 能 量( 高 達(dá)30μJ)超快激光器的基礎(chǔ),該激光器在 1μm 或 1.5μm 波長(zhǎng)處產(chǎn)生超快脈沖(<0.5ps),重復(fù)頻率數(shù)百千赫茲。這些超快激光器產(chǎn)品可以輸出綠光(515nm)和紫外光(343nm),并能與該公司的 Bodega OPA 耦合,進(jìn)而能在整個(gè)近紅外(near-IR)區(qū)域提供較寬的波長(zhǎng)范圍。
Cazadero FLCPA 超快激光器始于 27MHz 的被動(dòng) SESAM 鎖模種子光纖激光器,采樣低至 120kHz 或更高。超快脈沖是通過(guò)頻率時(shí)間展寬(啁啾),使得通過(guò)高功率光纖放大器級(jí)、以較低的峰值強(qiáng)度進(jìn)行放大。高達(dá) 30μJ 的短脈沖能量傳輸?shù)阶杂煽臻g中。這種 FLCPA 是固態(tài)飛秒激光放大器的一種具有成本效益的替代方案,用于精密生物醫(yī)學(xué)材料加工和納米結(jié)構(gòu)化。
由于能夠產(chǎn)生超過(guò) 4000℃的高熔融溫度,可用于材料熔化、微結(jié)構(gòu)操作或多材料合成,高功率飛秒光纖放大器已經(jīng)被越來(lái)越多地用于材料加工和制造領(lǐng)域。2014 年,美國(guó) LaserFemto公司首次實(shí)現(xiàn)了 0.5mJ 的飛秒光纖激光器,提升了基于光纖的飛秒技術(shù)的高功率極限。
被動(dòng)鎖模
SESAM 被動(dòng)鎖模技術(shù)也是Calmar 公司的 Carmel-CFL 超快光纖激光器種子平臺(tái)的基礎(chǔ)。Carmel X 系列是高功率、風(fēng)冷、780nm(以及可選的 1550nm)、基于光纖的飛秒激光器,輸出功率從 0.2W 到超過(guò) 1.0W(在1550nm 高達(dá) 2.5W ;見(jiàn)圖 3)。Carmel 激光器能提供 <90fs的脈寬,并且體積小巧,比許多Ti:sapphire 激光器更加緊湊,但是輸出功率水平卻之接近,能夠滿(mǎn)足一系列超快激光應(yīng)用的需求,包括生物成像、多光子顯微、光學(xué)計(jì)量、3D 微打印、太赫茲成像和眼科學(xué)。
Carmel X 系列包括遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集、功率監(jiān)控、系統(tǒng)診斷和二次諧波晶體的自動(dòng)調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間的使用壽命及 OEM 服務(wù)支持。對(duì)于多光子顯微應(yīng)用,Carmel 超快激光器可用于細(xì)胞組織成像,提供最小的散射,并降低光損傷的風(fēng)險(xiǎn)。緊湊的激光頭及配套的鎧裝光纜,使其只需要最少的光學(xué)元件就可以集成到現(xiàn)有的光學(xué)顯微鏡中。
另一種具有低相位噪聲和低時(shí)間抖動(dòng)的被動(dòng)鎖模、工業(yè)級(jí)飛秒激光器,是瑞士 onefive 公司的 Origami。其變換限制的孤子脈沖發(fā)射,在不同的波長(zhǎng)和不同的重復(fù)頻率下,提供衍射極限的光束質(zhì)量和指向穩(wěn)定性。
為了能在惡劣環(huán)境中工作,Origami 封裝在采用風(fēng)冷和密封外殼內(nèi),專(zhuān)為高穩(wěn)定性和低漂移而設(shè)計(jì)。onefive 公司的 Origami(<100fs,高達(dá) 5nJ)、Origami HP(<100fs,高達(dá)100nJ) 和 Origami XP(<400fs) 等飛秒激光器產(chǎn)品,是超低噪聲計(jì)時(shí)和頻率梳應(yīng)用的理想選擇。OrigamiXP(<400fs,>40μJ)非常適用于飛秒眼科學(xué)(LASIK 和白內(nèi)障手術(shù))和材料微加工應(yīng)用。
多波長(zhǎng)輸出
德國(guó)Toptica Photonics 公司的FemtoFiber 系列飛秒光纖激光器使用餌光纖和鐿光纖,能夠提供多種輸出選擇 :1560nm/780nm、可見(jiàn) / 近紅外可調(diào)諧輸出,紅外 / 近紅外超連續(xù)譜和短脈沖型號(hào),可用于非線(xiàn)性顯微、雙光子聚合、時(shí)域太赫茲和阿秒科學(xué)應(yīng)用,并且還可以用作種子激光器。
可飽和吸收鏡(SAM)鎖模和保偏光纖技術(shù),使得交鑰匙型FemtoFiber ultra 系列可用于生命科學(xué)、阿秒科學(xué)、光學(xué)相干斷層掃描(OCT),以及工業(yè) / OEM 集成應(yīng)用,這些應(yīng)用通領(lǐng)域常缺乏具有激光專(zhuān)業(yè)知識(shí)的工程師。FemtoFiber 激光器的光纖振蕩器,可用于為一個(gè)或多個(gè)光學(xué)放大器提供種子源。同步的多個(gè)激光器系統(tǒng),有益于諸如頻率計(jì)量和泵浦 - 探測(cè)實(shí)驗(yàn)等應(yīng)用。
Toptica FemtoFiber dichro 系列從同一孔徑輸出不同波長(zhǎng)的兩路同步激光束。該平臺(tái)設(shè)計(jì)上特別注重經(jīng)常需要不止一種顏色的應(yīng)用,如生物光子學(xué)應(yīng)用,包括雙光子熒光和二次諧波產(chǎn)生(SHG)顯微。
FemtoFiber dichro bioMP 型號(hào)從一個(gè)孔徑發(fā)射亞 150fs 脈沖,輸出波 長(zhǎng) 780nm(>500mW) 和 1050nm(>1000mW),可獨(dú)立調(diào)制強(qiáng)度、脈寬(啁啾)以及相應(yīng)的脈沖間延遲,這些可調(diào)節(jié)的參數(shù)在活體細(xì)胞多色雙光子成像、寬帶相干反斯托克斯拉曼光譜(CARS)、受激拉曼光譜(SRS)研究,以及泵浦 - 探測(cè)實(shí)驗(yàn)和脈沖受激發(fā)射耗盡(STED)顯微(見(jiàn)圖 4)應(yīng)用中,能夠大顯身手。
MOPA功率
英國(guó) Fianium 公司(2016 年初被NKT Photonics 公司收購(gòu))的光纖激光器系列產(chǎn)品基于主振蕩功率放大器(MOPA)構(gòu)建模塊,生產(chǎn)輸出皮秒或飛秒光學(xué)脈沖的鎖模激光器光源。Fianium 提供的高平均功率(>20W)和高能量系統(tǒng),能以兆赫茲重復(fù)頻率到單次發(fā)射工作,光譜范圍覆蓋240~2500nm。
Fianium 公司的超連續(xù)譜(SC450-4)或“白光”光纖激光器發(fā)射超寬光譜,通常從紫外到超過(guò) 2μm,并具有激光般的光束質(zhì)量。所有 Fianium 公司的超連續(xù)譜激光器,均以兆赫茲重復(fù)頻率提供皮秒脈沖,使它們與穩(wěn)態(tài)應(yīng)用中的 CW 源或壽命測(cè)量中的脈沖光源同樣有效。單個(gè)超連續(xù)譜激光器,配合可調(diào)諧濾光片使用,可以在一系列應(yīng)用中取代無(wú)限數(shù)目的單頻激光器。Fianium 公司的 FemtoPower 激光器,采用被動(dòng)鎖模 MOPA 結(jié)構(gòu),輸出波長(zhǎng) 1064nm、具備高平均功率和固定重復(fù)頻率。也可以提供脈寬 200fs的 532nm二次諧波。
Fianium 公司可機(jī)架安裝的 HighEnergy系列光纖激光器,能夠提供高達(dá) 10μJ 的脈沖能量。其內(nèi)部集成輸出調(diào)制器,允許用戶(hù)定制從單次發(fā)射到高達(dá) 1MHz 的連續(xù)模式的輸出。該產(chǎn)品線(xiàn)具有 <500fs 脈寬的選項(xiàng),最大平均功率 2W,以及 <5ps 的選項(xiàng)產(chǎn)生 5W 的功率,適用于更高能量的應(yīng)用,包括微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)、組織消融和眼科手術(shù)。
LightWire FF1000 為非線(xiàn)性顯微(雙光子、SHG)應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化。高平均功率(1.5W)、短脈寬(80fs)以及良好的光束質(zhì)量,結(jié)合在一起獲得樣品的銳利、明亮圖像。1030nm的激光發(fā)射波長(zhǎng),對(duì)深激發(fā)和收集來(lái)自組織的光都非常理想。飛秒脈沖的高峰值功率(625kW),也在許多其他非線(xiàn)性光學(xué)應(yīng)用中有著廣泛的用武之地,如太赫茲產(chǎn)生或雙光子聚合。
基于完善的MOPA方案,立陶宛EKSPLA公司的 1030nm、平均功率 1.5W 的 LightWire FF1000 激 光 器,專(zhuān)門(mén)為非線(xiàn)性顯微(雙光子、SHG)應(yīng) 用 進(jìn) 行 了 優(yōu) 化, 脈 寬 低 至 80fs。LightWire FF50 飛秒光纖激光器,能在1064nm 波長(zhǎng)提供 <130fs 的脈寬,是傳統(tǒng)釹釔鋁石榴石(Nd :YAG)激光器的低成本、緊湊及堅(jiān)固的替代產(chǎn)品。
中紅外選擇以及更多
美國(guó) IPG Photonics 公司的紅外脈沖光纖激光器,提供 1.03~1.06μm、1.55~1.65μm、2.09μm 以及 2.1~2.6μm的波長(zhǎng)。非線(xiàn)性外部轉(zhuǎn)換產(chǎn)生綠光輸出,皮秒和飛秒脈沖選擇提供 1.5μm處達(dá) 10W、1.06μm 處達(dá) 100W,或者0.52μm 處達(dá) 5W 的二次諧波源。
這些飛秒選擇的范圍從 400fs 到600fs,重復(fù)頻率高達(dá) 3MHz,IPG 的CLPF 超快振蕩器提供 40fs 脈沖,在2.1~2.6μm 范圍內(nèi)提供客戶(hù)選擇的固定波長(zhǎng),重復(fù)頻率 80~800MHz,輸出功率 2W。IPG 的超快放大器提供了在 2~3μm 光譜范圍內(nèi),實(shí)現(xiàn)數(shù)瓦輸出功率的能力。克爾透鏡鎖模振蕩器和超快放大器頭,由 IPG 的連續(xù)光纖激光器泵浦,滿(mǎn)足了一系列科學(xué)和生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用的需求。
所有的飛秒光纖激光器制造商繼續(xù)提升超快架構(gòu)的性能,包括更寬的波長(zhǎng)范圍、更短的脈沖以及更多的功率輸出選項(xiàng),以應(yīng)對(duì)下一代材料研究和加工的挑戰(zhàn)。(文/Subhash Singh,Nick Reilly,Chunlei Guo)
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