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紫外激光器

相干推出用于微電子制造最高功率紫外激光器

星之球科技 來(lái)源:慧聰機(jī)床網(wǎng)2013-04-18 我要評(píng)論(0 )   

相干公司最新的AVIATM微加工激光器可以在其工作波長(zhǎng)和頻率下輸出目前工業(yè)用激光器可得到的最高功率。AVIA355-33可輸出335nm(110kHz),33瓦的激光光束。高功率可以直接...

     相干公司最新的AVIATM微加工激光器可以在其工作波長(zhǎng)和頻率下輸出目前工業(yè)用激光器可得到的最高功率。AVIA355-33可輸出335nm(110kHz),33瓦的激光光束。高功率可以直接有效的提高生產(chǎn)效率,從而降低了成本。

 

    AVIA系列激光器在微電子制造應(yīng)用中有最長(zhǎng)時(shí)間的高可靠性,24/7連續(xù)工作的可查記錄,并有很多具體的設(shè)計(jì)來(lái)加強(qiáng)加工能力,減少客戶的長(zhǎng)期成本費(fèi)用。ThermEQTM,PulseEQTM可以精細(xì)的操控輸出脈沖能量,從而OEM可以定義和最優(yōu)化激光加工過(guò)程。激光器本身配備全自動(dòng)化諧波晶體轉(zhuǎn)換器來(lái)保持>20,000小時(shí)持續(xù)穩(wěn)定的輸出功率,延長(zhǎng)使用壽命。此外,激光器獨(dú)特的PosilockTM光束位置傳感器和反饋保證了激光器在工作壽命內(nèi)光束位置的高穩(wěn)定性,從而確保了加工的一致性和穩(wěn)定性。

 

    AVIA355-33可以廣泛應(yīng)用于高通量微電子加工制造行業(yè)。典型的應(yīng)用包括印制電路板和倒裝片的鉆孔,包含低k值電介質(zhì)材料硅晶片的切割和劃線。

 

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