電子特種氣體是真正意義上的高精尖產(chǎn)品,在芯片制造中必不可少,想要做到進(jìn)口替代,必須具備國際一流品質(zhì)。過去,這一市場幾乎被國際廠商壟斷。但就是憑著十幾年的堅(jiān)持,華特氣體已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了對(duì)國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。尤其值得一提的是,華特氣體通過了全球最大光刻機(jī)生產(chǎn)商荷蘭阿斯麥(ASML)公司的認(rèn)證,成為中國國內(nèi)唯一通過認(rèn)證的氣體公司。
2002年,華特氣體確定了以特種氣體為發(fā)展方向,時(shí)至今日,華特氣體的特種氣體主要用于半導(dǎo)體芯片行業(yè),目前已實(shí)現(xiàn)對(duì)國內(nèi)8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。與國內(nèi)大部分替代性產(chǎn)品主打性價(jià)比不同,華特氣體的產(chǎn)品在品質(zhì)上與國際競品完全一致,達(dá)到國際一流水準(zhǔn)。例如,華特氣體的產(chǎn)品已能為臺(tái)積電批量供應(yīng)5納米工藝,而國內(nèi)(其他企業(yè))最先進(jìn)的產(chǎn)品僅能供應(yīng)14納米工藝。傅鑄紅說,經(jīng)歷前期嚴(yán)格的認(rèn)證并通過后,一旦進(jìn)入供應(yīng)鏈體系并開始批量供應(yīng)后,華特氣體與客戶的合作關(guān)系也就趨向穩(wěn)定,“我們現(xiàn)在的競爭對(duì)手基本都是國外企業(yè)?!?/p>
奮斗19年獲阿斯麥認(rèn)證
光刻是芯片制造最關(guān)鍵的工藝之一,光刻需要由光刻機(jī)來完成,而全球最頂級(jí)的光刻機(jī)公司就是荷蘭的阿斯麥。“光刻機(jī)里有一個(gè)激光腔,激光腔體內(nèi)要通入稀有的混合氣體,利用稀有氣體電離激發(fā)出一種特定波長和能量的激光?!备佃T紅說,“光刻機(jī)再使用激光,去除芯片表面的光刻膠涂層,在芯片表面形成線寬為納米級(jí)的特定的電路圖案?!币虼耍@個(gè)工序是決定芯片工藝精度的最重要的工序。光刻混合氣是非常復(fù)雜且高精度的產(chǎn)品,一般一種光刻氣中會(huì)含有4-5種組分氣體?!坝眉す鈦砑庸ば酒砻?,需要讓激光波長和能量長時(shí)間保持穩(wěn)定,如果氣體純度不夠或配比不精準(zhǔn),就會(huì)導(dǎo)致激光能量時(shí)高時(shí)低或不持續(xù)?!彼忉?,“這必然影響光刻效果?!?017年,華特氣體的光刻混合氣通過阿斯麥認(rèn)證,在這個(gè)認(rèn)證名單中,全球僅有四家企業(yè),華特氣體是中國唯一一家。這個(gè)認(rèn)證對(duì)華特氣體意義巨大?!斑M(jìn)入阿斯麥的認(rèn)證,意味著阿斯麥強(qiáng)烈建議它的光刻機(jī)用戶,在使用阿斯麥光刻機(jī)時(shí),要配套使用這四家企業(yè)的光刻氣。否則,若用戶發(fā)現(xiàn)光刻效果不好,阿斯麥不承擔(dān)責(zé)任?!备佃T紅介紹。
從研發(fā)光刻混合氣,到獲得全球頂級(jí)光刻機(jī)企業(yè)的認(rèn)證,華特氣體用了19年時(shí)間?!拔覀儚?998年就開始研發(fā)這款氣體,過程非常艱難?!备佃T紅回憶光刻混合氣的研發(fā)歷程說。特別是有些組分氣體含量非常少,只有幾克甚至零點(diǎn)幾克,要將它們精準(zhǔn)的混合在一起,還要保證氣體在運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程中沒有任何變化,這對(duì)氣體企業(yè)的技術(shù)要求非常高。當(dāng)年,在幾乎沒有任何專利文獻(xiàn)可以參考的情況下,華特氣體的研發(fā)團(tuán)隊(duì)就是憑著毅力,不停試錯(cuò)和摸索,在積累了幾千組實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)后,最終研制成功。但很快華特氣體又迎來第二個(gè)挑戰(zhàn):如何讓阿斯麥相信華特氣體?作為一家民營氣體企業(yè),華特氣體在國際競爭對(duì)手面前,體量并不大。2019年,華特氣體營業(yè)收入為8.44億元人民幣。而法液空、林德等國際巨頭氣體企業(yè),營收都在千億人民幣以上。傅鑄紅回憶,正因如此,阿斯麥在最初的接洽中甚至不愿意測試華特氣體生產(chǎn)的光刻混合氣,“但我們不斷地和他們溝通,通過展示生產(chǎn)過程、品控手段、精準(zhǔn)檢測的技術(shù)等,前后用了近一年的時(shí)間,讓阿斯麥相信了我們的專業(yè)能力,最終測試并通過了認(rèn)證?!?/p>
抓住危機(jī)下的機(jī)遇、未來將開展海外并購
近幾年,華特氣體保持著每年研發(fā)推出2-3種新氣體的節(jié)奏?,F(xiàn)在在研氣體項(xiàng)目13種,其中8寸片氣體10種、12寸片氣體3種,主要涉及光刻、蝕刻、清洗、沉積等環(huán)節(jié),基本都用于進(jìn)口替代。其中,某氫化物合成研發(fā)項(xiàng)目是為了填補(bǔ)全球技術(shù)空白。憑借過硬的產(chǎn)品,華特氣體的特種氣體已進(jìn)入了英特爾、美光科技、德州儀器、海力士等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈體系,成為一把不容忽視的中國力量。但是,對(duì)標(biāo)法液空、林德等國際巨頭,華特氣體要成為推動(dòng)中國半導(dǎo)體行業(yè)高端化發(fā)展的“尖刀部隊(duì)”,還有較長的路要走。這主要體現(xiàn)在產(chǎn)業(yè)鏈縱深程度和產(chǎn)品線的廣度上。傅鑄紅表示,一方面,特種氣體對(duì)上游原材料品質(zhì)要求較高,縱向一體化發(fā)展有利于華特氣體加強(qiáng)對(duì)上游的把控。另一方面,是特種氣體品種繁多,通過橫向并購成熟的、優(yōu)秀的細(xì)分產(chǎn)品領(lǐng)域企業(yè),能夠快速補(bǔ)充華特氣體的產(chǎn)品線,將公司做大做強(qiáng)。
2019年,華特氣體成功登陸科創(chuàng)板,這給華特氣體開展橫縱向拓展帶來了資本利好。特別是本次疫情引發(fā)了經(jīng)濟(jì)周期的下行,也給華特的擴(kuò)張帶來了不小的機(jī)會(huì),傅鑄紅表示:“我們會(huì)認(rèn)真研究那些能給華特帶來較強(qiáng)協(xié)同效應(yīng)、對(duì)主業(yè)有所幫助的標(biāo)的,適時(shí)開展并購或投資?!薄拔磥?,我們計(jì)劃還要開展海外的兼并和收購,”他展望,“目前,我們的氣體已出口海外50多個(gè)國家和地區(qū),銷售占比20%左右,但這些都是通過當(dāng)?shù)氐臍怏w公司進(jìn)行分銷。我們希望通過海外兼并和收購,以直接設(shè)點(diǎn)的方式去服務(wù)我們的海外終端用戶?!?/p>
用全球視野搶占行業(yè)制高點(diǎn)
自2002年確立以特種氣體為發(fā)展方向以來,華特氣體的成長路徑一直踐行著“全球化的視角下,搶占行業(yè)制高點(diǎn)”。特種氣體,尤其是應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的電子特種氣體的國產(chǎn)化,沒有國際一流的品質(zhì),就進(jìn)入不了半導(dǎo)體行業(yè)的供應(yīng)鏈。作為“后起之秀”,華特氣體之所以能夠在這一巨頭壟斷的高端細(xì)分市場中撕開一道口子,就是因?yàn)槭嗄陙?,華特一直瞄準(zhǔn)國際一流產(chǎn)品,堅(jiān)持研發(fā)高端特種氣體,繼而實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。未來華特氣體還會(huì)繼續(xù)以特種氣體為發(fā)展方向,瞄準(zhǔn)大尺寸、小線寬這些半導(dǎo)體先進(jìn)制程,不斷的研制并推出一批技術(shù)難度高、市場容量大的產(chǎn)品,這也是華特作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)應(yīng)承擔(dān)起的責(zé)任。
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