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       激光技術(shù)被廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)中加工氧化鋁和氮化鋁陶瓷基板，迄今有30多年的歷史。為了將陶瓷基板分為獨立部分，可使用激光刻劃（打鉆）一系列局部（未通）高公差孔洞。這些孔洞大約深入基板三分之一，生成后期破裂的優(yōu)先斷層線。使用其它技術(shù)，也可以在基板上加工通路、槽孔、確定形貌和精細圖案。

       由于常用陶瓷具有吸收的特性，CO2 激光器已經(jīng)成為激光器的選擇。脈沖CO2 激光器光束的能量在陶瓷表面被吸收，因此產(chǎn)生局部加熱、熔化和汽化。圖2顯現(xiàn)出氧化鋁內(nèi)0.0045英寸劃線的頂視圖，表明在使用相對較長脈沖期間（大約 75-300m，視厚度而定），在高斯光束能量分布圖中的低能量邊緣之下，因局部熔化造成的熱影響區(qū)域(HAZ)。

       多年以來，CO2 激光器以長時間班次工作時，在氣體和能量方面將消耗大量資源，還要求制定維護計劃。另外，典型用于這種應(yīng)用的脈沖參數(shù)意味著密封管CO2 激光器技術(shù)不太合適。整體來說，在經(jīng)過多年大量改進時，CO2 激光器在可靠性和維護問題方面仍然位于其它技術(shù)之后。在維護期間，這些激光器的光束質(zhì)量還是易于變化；可以達到的最小光點大小也易于受到長波影響。單獨來講，陶瓷的激光器光束吸收特性使這種技術(shù)影響該市場領(lǐng)域很長時間。

   
    新劃線技術(shù)

    以前試圖將Nd:YAG激光器應(yīng)用于劃線工藝中沒有成功，因為1.064 μm的吸收太弱；沒有足夠能量沉積在表面層產(chǎn)生需要的效果。為此，Synchron Laser Service公司（位于美國密執(zhí)安州South Lyon）開發(fā)了表面處理技術(shù)，以在更短波長范圍內(nèi)加強陶瓷對激光器光線的吸收。這種工藝快速并微微浸入陶瓷表面并在足夠短的距離加強近紅外激光器脈沖的沉積能量，以產(chǎn)生必要的熔化和汽化。將這種正在申請專利的表面處理技術(shù)和SPI Lasers（位于英國Southampton）的光纖激光器技術(shù)相組合，其實現(xiàn)的工藝性能遠遠超出使用CO2 激光器所能達到的工藝性能（圖3）。

    表面處理大大加強了光纖激光器光束融入到陶瓷頂部表面之內(nèi)，以開始打鉆過程。激光器脈沖與材料表面之間相互作用的加強動力，結(jié)合了確保表面光點大小持續(xù)一致的定制高解析度光束傳遞系統(tǒng)，這意味著現(xiàn)在可以在陶瓷基板實現(xiàn)更小的形貌（圖4）。Synchron也考慮了一些現(xiàn)有其它激光器技術(shù)，希望可以加工甚至更精細的劃線；但結(jié)論是：沒有一種技術(shù)能以其獨特方式達到目標(biāo)速度，在一些情況下至少要慢10倍。

 與CO2 激光器相比，光纖激光器展示出更佳的一致性和可靠性，可以加工更精細的形貌，包括破裂之后邊緣質(zhì)量提高三倍以上（圖3和圖4）。圖5進一步展示了可以達到的邊緣質(zhì)量，在此描述切割箭頭形狀產(chǎn)生的原邊緣。重要的是，新工藝甚至可以達到采用CO2 激光器時無法實現(xiàn)的生產(chǎn)速度。

    在0.0150英寸厚的氧化鋁基板上，劃線速度現(xiàn)在每分鐘超過1300英寸，大約是CO2 激光器的兩倍（都深入30%）；但機加工速度至少是平均值，在大多數(shù)情況下速度超過CO2 激光器。根據(jù)Synchron的情況，是由于采用移動控制系統(tǒng)而非激光器，才導(dǎo)致產(chǎn)量受限。

    可以采用這種時新的方式加工氧化鋁和氮化鋁陶瓷。采用氧化鋁時，工藝限制于最多達到大約0.060英寸的基板厚度，雖然在更長時間需要加工條件嚴(yán)苛應(yīng)用中的的更厚材料。更厚的基板也可以提供更多散熱，例如對于高亮度LED應(yīng)用中的情況。

    氮化鋁陶瓷一般比氧化鋁更難加工，因為熱傳導(dǎo)性更好，因此加工要求具有成比例的更大功率。另一方面，可以達到更精細的形貌，因為只有光束的最高密度部分才能產(chǎn)生需要的工藝，而材料的高導(dǎo)熱性最低程度降低了光束能量分布圖兩側(cè)的HAZ。使用這種新方法的初步結(jié)果優(yōu)良，采用這種材料的工藝仍然可以微調(diào)。
      

    工藝改進

    光纖激光器可以提供一系列獨特的性能，應(yīng)用于廣泛的材料加工。例如，可靠的高斯光束分布圖（TEM00）對于表面達到和維護持續(xù)一致的光點大小十分重要。光纖激光器在這一方面表現(xiàn)良好，所有輸出功率展示出特別優(yōu)質(zhì)的光束分布，因此允許工作距離大（獨立）。另一種優(yōu)點是小光點尺寸和優(yōu)質(zhì)光束轉(zhuǎn)換為焦點的高亮度光，實現(xiàn)可靠加工，精確度高，HAZ最小。

    光纖激光器能通過以下幾種方式共同實現(xiàn)最大程度的降低運營成本：降低維護成本、沒有對準(zhǔn)或校準(zhǔn)要求、更長正常運行時間以及在更高產(chǎn)量時提高生產(chǎn)質(zhì)量。光纖激光器結(jié)構(gòu)緊湊，結(jié)實耐用，因此適合最具挑戰(zhàn)的工業(yè)環(huán)境。

    Synchron的專有技術(shù)突破了工業(yè)中技術(shù)進步的新領(lǐng)域，即在消費電子產(chǎn)品生產(chǎn)中不能匹配其它材料的加工。行業(yè)巨頭相對較少，一方面競爭成本高，另一方面還需要對客戶需求保持靈活變化，面對這種境況，任何工藝進步都可能導(dǎo)致贏得重要市場。

    組合光纖激光器和專有表面修改工藝實現(xiàn)的形貌尺寸降低，為電子產(chǎn)品級陶瓷加工更精細劃線開啟了大門，每月產(chǎn)量通常超過1000萬件，輕松滿足蜂窩式電話和音樂播放器以及用于背光和汽車應(yīng)用的高密度LED的大規(guī)模消費電子產(chǎn)品的生產(chǎn)需要。事實上，一些工業(yè)正在要求陶瓷基板孔洞＜0.003英寸，精確度優(yōu)于0.0005英寸，采用CO2 激光器不容易達到這種解析度，但是Synchron的新方法已經(jīng)在大規(guī)模生產(chǎn)中達到這種水平（圖6）。

    表面處理可以采用噴涂、浸入或輥壓，不需要大量烘干時間。應(yīng)用陶瓷表面處理不會增加其它工藝步驟，因為一些類型的涂布步驟（通常是防飛濺層）對于已經(jīng)建立的CO2 加工工藝比較常見。另外，新工藝產(chǎn)生的殘余物活性更低，數(shù)量更少，只會消除飛濺問題。

    以更高速度加工陶瓷基板更精細的形貌，在設(shè)計、性能和成本方面為電子工業(yè)帶來了優(yōu)點。光纖激光器可以幫助在可行的競爭要求的重要標(biāo)準(zhǔn)之中達到更好平衡：通常是有效光學(xué)性能、工藝靈活性、高產(chǎn)量、長時間系統(tǒng)正常運行以及可靠性。對于Synchron的情況，光纖激光器有助于確保達到以前無法實現(xiàn)的陶瓷加工性能水平。