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面對(duì)玻璃及其相似材料的精密零錐孔的需求日益增長(zhǎng)， 美國(guó)AdValue Photonics公司的光纖激光器提供了一個(gè)解決方案。該公司光纖激光器的性能特征使芯片尺寸小于20μm的透明玻璃材料能夠進(jìn)行高速零錐孔鉆孔，這種高性價(jià)比的解決方案在以前是被認(rèn)為不可能的。
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常規(guī)的激光鉆孔工藝通常導(dǎo)致產(chǎn)生錐形孔。復(fù)雜的5軸光束轉(zhuǎn)向系統(tǒng)需要通過(guò)動(dòng)態(tài)地調(diào)整激光束的入射角度來(lái)同步于打孔運(yùn)動(dòng)來(lái)最小化錐度。這些系統(tǒng)價(jià)格昂貴，而且難以匹配和維護(hù)。在透明材料中，傳統(tǒng)的振鏡掃描頭可以實(shí)現(xiàn)零錐孔。傳統(tǒng)上來(lái)說(shuō)，脈沖持續(xù)時(shí)間為幾十納秒的綠色二極管泵浦固體（DPSS）激光器已被用于該工藝，導(dǎo)致芯片尺寸超過(guò)120μm。 芯片尺寸<20μm時(shí)需要皮秒激光器加工，而零錐度的要求則需要最開(kāi)始為綠色DPSS激光器而開(kāi)發(fā)的相同工藝。 AdValue采用EVERESTpico 1μm激光器，以1 MHz的重復(fù)頻率和M2 = 1.3的50 ps脈沖持續(xù)時(shí)間和50μJ脈沖能量進(jìn)行零錐孔鉆孔過(guò)程，以常規(guī)地在高速下實(shí)現(xiàn)在玻璃和藍(lán)寶石芯片尺寸小于20的零錐孔微米。


Source: Industrial laser solution
Translation: Nick