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我們應(yīng)該知道中國(guó)激光技術(shù)在全球領(lǐng)先，甚至排在第一位。1964年，錢學(xué)森院士提議取名為“激光”，從1961年中國(guó)第一臺(tái)激光器到世界上第一所激光技術(shù)的專業(yè)研究所——中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所的成立，而且在ICF激光驅(qū)動(dòng)器、高功率化學(xué)激光器、半導(dǎo)體泵浦的固體激光器、超短超強(qiáng)激光器等等各方面都有進(jìn)步，可以說(shuō)我國(guó)的激光事業(yè)一直在不斷進(jìn)步。

可是激光≠光刻機(jī)技術(shù)

我們知道光刻機(jī)技術(shù)所需要的是——

需要最精密的技術(shù)。包括德國(guó)機(jī)械工藝、蔡司鏡頭和美國(guó)公司提供的光源。

涉及多個(gè)學(xué)科，包含了系統(tǒng)集成、精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、精密物料傳輸、高精度微環(huán)境控制等多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)。

光刻工藝的具體步驟繁瑣，需要通過(guò)硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序，不是簡(jiǎn)單的激光就能解決的。

“拉同伙”，實(shí)際上ASML能夠成功，是因?yàn)閷⑷恰⑴_(tái)積電、英特爾等等共同拉入ASML 公司。

為了解決激光，ASML 收購(gòu)了全球領(lǐng)先的準(zhǔn)分子激光器供應(yīng)商 Cymer，為了解決光刻系統(tǒng)，以 10 億歐元現(xiàn)金入股光學(xué)系統(tǒng)供應(yīng)商卡爾蔡司。

可以說(shuō)，ASML的成功不是一蹴而就的，激光≠光刻機(jī)。

我們的制約因素，不僅僅技術(shù)

其實(shí)，影響我們的不僅僅是技術(shù)，還有技術(shù)壁壘。從《瓦森納協(xié)議》中的影響，讓我們不得不受限于技術(shù)的“限制”。很多時(shí)候不是我們不想發(fā)展，而是很多技術(shù)它是不能夠進(jìn)來(lái)的，在這種情況下，我們的光刻機(jī)的發(fā)展受到了非常大的限制。

在技術(shù)趕不上，又被封鎖的情況下，我們確實(shí)會(huì)在光刻機(jī)方面有所欠缺。當(dāng)然，我們也期盼能夠在各種技術(shù)的合力下，擺脫限制，得到發(fā)展，走出一條打破光刻機(jī)技術(shù)之路。